ഇലക്ട്രോണിക് എഞ്ചിനീയറിംഗ് സംവിധാനങ്ങളിൽ ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള ഗ്യാസ് പൈപ്പ്ലൈനുകളുടെ പ്രയോഗം.

ഒൻപതാം പഞ്ചവത്സര പദ്ധതിക്കാലത്ത് 0.18 മൈക്രോൺ ലൈൻ വീതിയും 200 മില്ലീമീറ്റർ വ്യാസവുമുള്ള ചിപ്പുകൾ നിർമ്മിക്കുന്നതിനുള്ള എന്റെ രാജ്യത്തെ ഇലക്ട്രോണിക്സ് വ്യവസായത്തിലെ ഒരു പ്രധാന നിർമ്മാണ പദ്ധതിയാണ് 909 പ്രോജക്റ്റ് വെരി ലാർജ് സ്കെയിൽ ഇന്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ട് ഫാക്ടറി.

വളരെ വലിയ തോതിലുള്ള ഇന്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകളുടെ നിർമ്മാണ സാങ്കേതികവിദ്യയിൽ മൈക്രോ-മെഷീനിംഗ് പോലുള്ള ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള സാങ്കേതികവിദ്യകൾ മാത്രമല്ല ഉൾപ്പെടുന്നത്, മാത്രമല്ല വാതക പരിശുദ്ധിയിൽ ഉയർന്ന ആവശ്യകതകളും ഏർപ്പെടുത്തുന്നു.
പ്രോജക്റ്റ് 909 നുള്ള ബൾക്ക് ഗ്യാസ് വിതരണം നൽകുന്നത് യുണൈറ്റഡ് സ്റ്റേറ്റ്സിലെ പ്രാക്‌സെയർ യൂട്ടിലിറ്റി ഗ്യാസ് കമ്പനി ലിമിറ്റഡും ഷാങ്ഹായിലെ ബന്ധപ്പെട്ട കക്ഷികളും സംയുക്തമായി ഒരു ഗ്യാസ് ഉൽ‌പാദന പ്ലാന്റ് സ്ഥാപിക്കുന്നതിനായി ഒരു സംയുക്ത സംരംഭമാണ്. ഏകദേശം 15,000 ചതുരശ്ര മീറ്റർ വിസ്തീർണ്ണമുള്ള ഗ്യാസ് ഉൽ‌പാദന പ്ലാന്റ് 909 പ്രോജക്റ്റ് ഫാക്ടറി കെട്ടിടത്തോട് ചേർന്നാണ്. വിവിധ വാതകങ്ങളുടെ ശുദ്ധതയും ഉൽ‌പാദന ആവശ്യകതകളും

ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള നൈട്രജൻ (PN2), നൈട്രജൻ (N2), ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള ഓക്സിജൻ (PO2) എന്നിവ വായു വിഭജനത്തിലൂടെയാണ് ഉത്പാദിപ്പിക്കുന്നത്. ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള ഹൈഡ്രജൻ (PH2) വൈദ്യുതവിശ്ലേഷണത്തിലൂടെയാണ് ഉത്പാദിപ്പിക്കുന്നത്. ആർഗോൺ (Ar), ഹീലിയം (He) എന്നിവ ഔട്ട്‌സോഴ്‌സ് ചെയ്‌ത് വാങ്ങുന്നു. പ്രോജക്റ്റ് 909-ൽ ഉപയോഗിക്കുന്നതിനായി ക്വാസി-ഗ്യാസ് ശുദ്ധീകരിച്ച് ഫിൽട്ടർ ചെയ്യുന്നു. പ്രത്യേക വാതകം കുപ്പികളിലാണ് വിതരണം ചെയ്യുന്നത്, കൂടാതെ ഗ്യാസ് ബോട്ടിൽ കാബിനറ്റ് ഇന്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ട് പ്രൊഡക്ഷൻ പ്ലാന്റിന്റെ സഹായ വർക്ക്‌ഷോപ്പിലാണ് സ്ഥിതി ചെയ്യുന്നത്.
മറ്റ് വാതകങ്ങളിൽ 4185m3/h ഉപയോഗ വ്യാപ്തം, -70°C മർദ്ദ മഞ്ഞു പോയിന്റ്, ഉപയോഗ ഘട്ടത്തിൽ വാതകത്തിലെ കണികാ വലിപ്പം 0.01um-ൽ കൂടാത്ത ക്ലീൻ ഡ്രൈ കംപ്രസ്ഡ് എയർ CDA സിസ്റ്റം എന്നിവയും ഉൾപ്പെടുന്നു. കംപ്രസ്ഡ് എയർ (BA) സിസ്റ്റം ശ്വസനം, ഉപയോഗ വ്യാപ്തം 90m3/h, മർദ്ദ മഞ്ഞു പോയിന്റ് 2℃, ഉപയോഗ ഘട്ടത്തിൽ വാതകത്തിലെ കണികാ വലിപ്പം 0.3um-ൽ കൂടുതലല്ല, പ്രോസസ് വാക്വം (PV) സിസ്റ്റം, ഉപയോഗ വ്യാപ്തം 582m3/h, ഉപയോഗ ഘട്ടത്തിൽ വാക്വം ഡിഗ്രി -79993Pa. ക്ലീനിംഗ് വാക്വം (HV) സിസ്റ്റം, ഉപയോഗ വ്യാപ്തം 1440m3/h, ഉപയോഗ പോയിന്റിൽ വാക്വം ഡിഗ്രി -59995 Pa. എയർ കംപ്രസർ റൂമും വാക്വം പമ്പ് റൂമും 909 പ്രോജക്റ്റ് ഫാക്ടറി ഏരിയയിലാണ് സ്ഥിതി ചെയ്യുന്നത്.

പൈപ്പ് മെറ്റീരിയലുകളുടെയും അനുബന്ധ ഉപകരണങ്ങളുടെയും തിരഞ്ഞെടുപ്പ്
VLSI ഉൽ‌പാദനത്തിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന വാതകത്തിന് വളരെ ഉയർന്ന ശുചിത്വ ആവശ്യകതകളുണ്ട്.ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള ഗ്യാസ് പൈപ്പ്‌ലൈനുകൾസാധാരണയായി ശുദ്ധമായ ഉൽ‌പാദന പരിതസ്ഥിതികളിലാണ് ഉപയോഗിക്കുന്നത്, കൂടാതെ അവയുടെ ശുചിത്വ നിയന്ത്രണം ഉപയോഗത്തിലുള്ള സ്ഥലത്തിന്റെ ശുചിത്വ നിലവാരവുമായി പൊരുത്തപ്പെടുന്നതോ അതിലും ഉയർന്നതോ ആയിരിക്കണം! കൂടാതെ, ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള വാതക പൈപ്പ്‌ലൈനുകൾ പലപ്പോഴും ശുദ്ധമായ ഉൽ‌പാദന പരിതസ്ഥിതികളിൽ ഉപയോഗിക്കുന്നു. ശുദ്ധമായ ഹൈഡ്രജൻ (PH2), ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള ഓക്സിജൻ (PO2), ചില പ്രത്യേക വാതകങ്ങൾ എന്നിവ കത്തുന്നതും, സ്ഫോടനാത്മകവും, ജ്വലനത്തെ പിന്തുണയ്ക്കുന്നതോ അല്ലെങ്കിൽ വിഷവാതകങ്ങളുമാണ്. ഗ്യാസ് പൈപ്പ്‌ലൈൻ സംവിധാനം അനുചിതമായി രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിട്ടുണ്ടെങ്കിലോ വസ്തുക്കൾ തെറ്റായി തിരഞ്ഞെടുത്തിട്ടുണ്ടെങ്കിലോ, ഗ്യാസ് പോയിന്റിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന വാതകത്തിന്റെ ശുദ്ധത കുറയുക മാത്രമല്ല, അത് പരാജയപ്പെടുകയും ചെയ്യും. ഇത് പ്രക്രിയ ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്നു, പക്ഷേ ഇത് ഉപയോഗിക്കാൻ സുരക്ഷിതമല്ല കൂടാതെ വൃത്തിയുള്ള ഫാക്ടറിക്ക് മലിനീകരണം ഉണ്ടാക്കുകയും, വൃത്തിയുള്ള ഫാക്ടറിയുടെ സുരക്ഷയെയും ശുചിത്വത്തെയും ബാധിക്കുകയും ചെയ്യും.
ഉപയോഗ സമയത്ത് ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള വാതകത്തിന്റെ ഗുണനിലവാരം ഉറപ്പുനൽകുന്നത് വാതക ഉൽപ്പാദനം, ശുദ്ധീകരണ ഉപകരണങ്ങൾ, ഫിൽട്ടറുകൾ എന്നിവയുടെ കൃത്യതയെ മാത്രമല്ല, പൈപ്പ്‌ലൈൻ സിസ്റ്റത്തിലെ പല ഘടകങ്ങളാലും വലിയ അളവിൽ ബാധിക്കപ്പെടുന്നു. നമ്മൾ വാതക ഉൽപ്പാദന ഉപകരണങ്ങൾ, ശുദ്ധീകരണ ഉപകരണങ്ങൾ, ഫിൽട്ടറുകൾ എന്നിവയെ ആശ്രയിക്കുകയാണെങ്കിൽ, അനുചിതമായ ഗ്യാസ് പൈപ്പിംഗ് സിസ്റ്റം രൂപകൽപ്പനയ്‌ക്കോ മെറ്റീരിയൽ തിരഞ്ഞെടുപ്പിനോ നഷ്ടപരിഹാരം നൽകുന്നതിന് അനന്തമായി ഉയർന്ന കൃത്യത ആവശ്യകതകൾ ചുമത്തുന്നത് തെറ്റാണ്.
909 പ്രോജക്റ്റിന്റെ രൂപകൽപ്പന പ്രക്രിയയിൽ, ഞങ്ങൾ "ക്ലീൻ പ്ലാന്റുകളുടെ രൂപകൽപ്പനയ്ക്കുള്ള കോഡ്" GBJ73-84 (നിലവിലെ സ്റ്റാൻഡേർഡ് (GB50073-2001)), "കംപ്രസ്ഡ് എയർ സ്റ്റേഷനുകളുടെ രൂപകൽപ്പനയ്ക്കുള്ള കോഡ്" GBJ29-90, "ഓക്സിജൻ സ്റ്റേഷനുകളുടെ രൂപകൽപ്പനയ്ക്കുള്ള കോഡ്" GB50030-91, "ഹൈഡ്രജൻ, ഓക്സിജൻ സ്റ്റേഷനുകളുടെ രൂപകൽപ്പനയ്ക്കുള്ള കോഡ്" GB50177-93, പൈപ്പ്ലൈൻ മെറ്റീരിയലുകളുടെയും അനുബന്ധ ഉപകരണങ്ങളുടെയും തിരഞ്ഞെടുപ്പിനുള്ള പ്രസക്തമായ സാങ്കേതിക നടപടികൾ എന്നിവ പിന്തുടർന്നു. "ക്ലീൻ പ്ലാന്റുകളുടെ രൂപകൽപ്പനയ്ക്കുള്ള കോഡ്" പൈപ്പ്ലൈൻ മെറ്റീരിയലുകളുടെയും വാൽവുകളുടെയും തിരഞ്ഞെടുപ്പ് ഇനിപ്പറയുന്ന രീതിയിൽ വ്യവസ്ഥ ചെയ്യുന്നു:

(1) വാതക പരിശുദ്ധി 99.999%-ൽ കൂടുതലോ തുല്യമോ ആണെങ്കിൽ, മഞ്ഞു പോയിന്റ് -76°C-ൽ താഴെയാണെങ്കിൽ, ഇലക്ട്രോപോളിഷ് ചെയ്ത അകത്തെ ഭിത്തിയുള്ള 00Cr17Ni12Mo2Ti ലോ-കാർബൺ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പ് (316L) അല്ലെങ്കിൽ ഇലക്ട്രോപോളിഷ് ചെയ്ത അകത്തെ ഭിത്തിയുള്ള OCr18Ni9 സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പ് (304) ഉപയോഗിക്കണം. വാൽവ് ഒരു ഡയഫ്രം വാൽവ് അല്ലെങ്കിൽ ബെല്ലോസ് വാൽവ് ആയിരിക്കണം.

(2) വാതക ശുദ്ധി 99.99% ൽ കൂടുതലോ തുല്യമോ ആണെങ്കിൽ, മഞ്ഞു പോയിന്റ് -60°C ൽ താഴെയാണെങ്കിൽ, ഇലക്ട്രോപോളിഷ് ചെയ്ത അകത്തെ ഭിത്തിയുള്ള OCr18Ni9 സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ ട്യൂബ് (304) ഉപയോഗിക്കണം. കത്തുന്ന ഗ്യാസ് പൈപ്പ്ലൈനുകൾക്ക് ഉപയോഗിക്കേണ്ട ബെല്ലോസ് വാൽവുകൾ ഒഴികെ, മറ്റ് ഗ്യാസ് പൈപ്പ്ലൈനുകൾക്ക് ബോൾ വാൽവുകൾ ഉപയോഗിക്കണം.

(3) വരണ്ട കംപ്രസ് ചെയ്ത വായുവിന്റെ മഞ്ഞു പോയിന്റ് -70°C-ൽ താഴെയാണെങ്കിൽ, മിനുക്കിയ അകത്തെ ഭിത്തിയുള്ള OCr18Ni9 സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പ് (304) ഉപയോഗിക്കണം. മഞ്ഞു പോയിന്റ് -40°C-ൽ താഴെയാണെങ്കിൽ, OCr18Ni9 സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പ് (304) അല്ലെങ്കിൽ ഹോട്ട്-ഡിപ്പ് ഗാൽവാനൈസ്ഡ് സീംലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പ് ഉപയോഗിക്കണം. വാൽവ് ഒരു ബെല്ലോസ് വാൽവോ ഒരു ബോൾ വാൽവോ ആയിരിക്കണം.

(4) വാൽവ് മെറ്റീരിയൽ ബന്ധിപ്പിക്കുന്ന പൈപ്പ് മെറ്റീരിയലുമായി പൊരുത്തപ്പെടണം.

സ്പെസിഫിക്കേഷനുകളുടെയും പ്രസക്തമായ സാങ്കേതിക നടപടികളുടെയും ആവശ്യകതകൾ അനുസരിച്ച്, പൈപ്പ്ലൈൻ വസ്തുക്കൾ തിരഞ്ഞെടുക്കുമ്പോൾ ഞങ്ങൾ പ്രധാനമായും ഇനിപ്പറയുന്ന വശങ്ങൾ പരിഗണിക്കുന്നു:

(1) പൈപ്പ് വസ്തുക്കളുടെ വായു പ്രവേശനക്ഷമത ചെറുതായിരിക്കണം. വ്യത്യസ്ത വസ്തുക്കളാൽ നിർമ്മിച്ച പൈപ്പുകൾക്ക് വ്യത്യസ്ത വായു പ്രവേശനക്ഷമതയുണ്ട്. കൂടുതൽ വായു പ്രവേശനക്ഷമതയുള്ള പൈപ്പുകൾ തിരഞ്ഞെടുക്കുകയാണെങ്കിൽ, മലിനീകരണം നീക്കം ചെയ്യാൻ കഴിയില്ല. സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകളും ചെമ്പ് പൈപ്പുകളും അന്തരീക്ഷത്തിൽ ഓക്സിജന്റെ നുഴഞ്ഞുകയറ്റവും നാശവും തടയുന്നതിൽ മികച്ചതാണ്. എന്നിരുന്നാലും, സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകൾ ചെമ്പ് പൈപ്പുകളേക്കാൾ സജീവമല്ലാത്തതിനാൽ, അന്തരീക്ഷത്തിലെ ഈർപ്പം അവയുടെ ആന്തരിക പ്രതലങ്ങളിലേക്ക് തുളച്ചുകയറാൻ അനുവദിക്കുന്നതിൽ ചെമ്പ് പൈപ്പുകൾ കൂടുതൽ സജീവമാണ്. അതിനാൽ, ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള ഗ്യാസ് പൈപ്പ്ലൈനുകൾക്കായി പൈപ്പുകൾ തിരഞ്ഞെടുക്കുമ്പോൾ, സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകൾ ആദ്യ തിരഞ്ഞെടുപ്പായിരിക്കണം.

(2) പൈപ്പ് മെറ്റീരിയലിന്റെ ആന്തരിക ഉപരിതലം ആഗിരണം ചെയ്യപ്പെടുന്നു, ഇത് വാതക വിശകലനത്തിൽ ചെറിയ സ്വാധീനം ചെലുത്തുന്നു. സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പ് പ്രോസസ്സ് ചെയ്ത ശേഷം, ഒരു നിശ്ചിത അളവിൽ വാതകം അതിന്റെ ലോഹ ലാറ്റിസിൽ നിലനിർത്തും. ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള വാതകം കടന്നുപോകുമ്പോൾ, വാതകത്തിന്റെ ഈ ഭാഗം വായുപ്രവാഹത്തിൽ പ്രവേശിച്ച് മലിനീകരണത്തിന് കാരണമാകും. അതേസമയം, ആഗിരണം, വിശകലനം എന്നിവ കാരണം, പൈപ്പിന്റെ ആന്തരിക ഉപരിതലത്തിലുള്ള ലോഹവും ഒരു നിശ്ചിത അളവിൽ പൊടി ഉത്പാദിപ്പിക്കും, ഇത് ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള വാതകത്തിലേക്ക് മലിനീകരണം ഉണ്ടാക്കുന്നു. 99.999% അല്ലെങ്കിൽ ppb ലെവലിൽ കൂടുതലുള്ള ശുദ്ധതയുള്ള പൈപ്പിംഗ് സിസ്റ്റങ്ങൾക്ക്, 00Cr17Ni12Mo2Ti കുറഞ്ഞ കാർബൺ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പ് (316L) ഉപയോഗിക്കണം.

(3) സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകളുടെ തേയ്മാനം പ്രതിരോധം ചെമ്പ് പൈപ്പുകളേക്കാൾ മികച്ചതാണ്, വായുപ്രവാഹ മണ്ണൊലിപ്പ് മൂലമുണ്ടാകുന്ന ലോഹപ്പൊടി താരതമ്യേന കുറവാണ്. ശുചിത്വത്തിന് ഉയർന്ന ആവശ്യകതകളുള്ള പ്രൊഡക്ഷൻ വർക്ക്ഷോപ്പുകൾക്ക് 00Cr17Ni12Mo2Ti കുറഞ്ഞ കാർബൺ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകൾ (316L) അല്ലെങ്കിൽ OCr18Ni9 സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകൾ (304) ഉപയോഗിക്കാം, ചെമ്പ് പൈപ്പുകൾ ഉപയോഗിക്കരുത്.

(4) 99.999% അല്ലെങ്കിൽ ppb അല്ലെങ്കിൽ ppt ലെവലിൽ കൂടുതലുള്ള ഗ്യാസ് ശുദ്ധിയുള്ള പൈപ്പിംഗ് സിസ്റ്റങ്ങൾക്ക്, അല്ലെങ്കിൽ “ക്ലീൻ ഫാക്ടറി ഡിസൈൻ കോഡിൽ” വ്യക്തമാക്കിയിട്ടുള്ള N1-N6 വായു ശുദ്ധതാ ലെവലുകളുള്ള വൃത്തിയുള്ള മുറികളിൽ, അൾട്രാ-ക്ലീൻ പൈപ്പുകൾ അല്ലെങ്കിൽഇപി അൾട്രാ-ക്ലീൻ പൈപ്പുകൾ"അൾട്രാ-സ്മൂത്ത് ആന്തരിക പ്രതലമുള്ള ക്ലീൻ ട്യൂബ്" വൃത്തിയാക്കുക.

(5) ഉൽ‌പാദന പ്രക്രിയയിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന ചില പ്രത്യേക ഗ്യാസ് പൈപ്പ്‌ലൈൻ സംവിധാനങ്ങൾ വളരെ നാശകാരിയായ വാതകങ്ങളാണ്. ഈ പൈപ്പ്‌ലൈൻ സംവിധാനങ്ങളിലെ പൈപ്പുകളിൽ നാശത്തെ പ്രതിരോധിക്കുന്ന സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകൾ പൈപ്പുകളായി ഉപയോഗിക്കണം. അല്ലാത്തപക്ഷം, പൈപ്പുകൾക്ക് നാശനഷ്ടം സംഭവിക്കും. ഉപരിതലത്തിൽ നാശന പാടുകൾ ഉണ്ടായാൽ, സാധാരണ തടസ്സമില്ലാത്ത സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകളോ ഗാൽവാനൈസ്ഡ് വെൽഡഡ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകളോ ഉപയോഗിക്കരുത്.

(6) തത്വത്തിൽ, എല്ലാ ഗ്യാസ് പൈപ്പ്‌ലൈൻ കണക്ഷനുകളും വെൽഡിംഗ് ചെയ്യണം. ഗാൽവാനൈസ്ഡ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകളുടെ വെൽഡിംഗ് ഗാൽവാനൈസ്ഡ് പാളിയെ നശിപ്പിക്കുമെന്നതിനാൽ, വൃത്തിയുള്ള മുറികളിലെ പൈപ്പുകൾക്ക് ഗാൽവാനൈസ്ഡ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകൾ ഉപയോഗിക്കില്ല.

മുകളിൽ പറഞ്ഞ ഘടകങ്ങൾ കണക്കിലെടുത്ത്, &7& പദ്ധതിയിൽ തിരഞ്ഞെടുത്ത ഗ്യാസ് പൈപ്പ്‌ലൈൻ പൈപ്പുകളും വാൽവുകളും ഇപ്രകാരമാണ്:

ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള നൈട്രജൻ (PN2) സിസ്റ്റം പൈപ്പുകൾ 00Cr17Ni12Mo2Ti ലോ-കാർബൺ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകൾ (316L) കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, ഇലക്ട്രോപോളിഷ് ചെയ്ത അകത്തെ ഭിത്തികളുമുണ്ട്, വാൽവുകൾ അതേ മെറ്റീരിയലിന്റെ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ ബെല്ലോസ് വാൽവുകൾ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്.
നൈട്രജൻ (N2) സിസ്റ്റം പൈപ്പുകൾ 00Cr17Ni12Mo2Ti ലോ-കാർബൺ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകൾ (316L) കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, ഇലക്ട്രോപോളിഷ് ചെയ്ത അകത്തെ ഭിത്തികളുമുണ്ട്, വാൽവുകൾ അതേ മെറ്റീരിയലിന്റെ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ ബെല്ലോസ് വാൽവുകൾ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്.
ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള ഹൈഡ്രജൻ (PH2) സിസ്റ്റം പൈപ്പുകൾ 00Cr17Ni12Mo2Ti ലോ-കാർബൺ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകൾ (316L) കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, ഇലക്ട്രോപോളിഷ് ചെയ്ത അകത്തെ ഭിത്തികളുമുണ്ട്, വാൽവുകൾ അതേ മെറ്റീരിയലിന്റെ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ ബെല്ലോസ് വാൽവുകൾ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്.
ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള ഓക്സിജൻ (PO2) സിസ്റ്റം പൈപ്പുകൾ 00Cr17Ni12Mo2Ti ലോ-കാർബൺ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകൾ (316L) കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, ഇലക്ട്രോ-പോളിഷ് ചെയ്ത അകത്തെ ഭിത്തികളുമുണ്ട്, വാൽവുകൾ അതേ മെറ്റീരിയലിന്റെ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ ബെല്ലോസ് വാൽവുകൾ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്.
ആർഗോൺ (Ar) സിസ്റ്റം പൈപ്പുകൾ 00Cr17Ni12Mo2Ti ലോ-കാർബൺ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകൾ (316L) കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, ഇലക്ട്രോപോളിഷ് ചെയ്ത അകത്തെ ഭിത്തികളും, അതേ മെറ്റീരിയലിന്റെ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ ബെല്ലോസ് വാൽവുകളും ഉപയോഗിക്കുന്നു.
ഹീലിയം (He) സിസ്റ്റം പൈപ്പുകൾ 00Cr17Ni12Mo2Ti ലോ-കാർബൺ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകൾ (316L) കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, ഇലക്ട്രോപോളിഷ് ചെയ്ത അകത്തെ ഭിത്തികളുമുണ്ട്, വാൽവുകൾ അതേ മെറ്റീരിയലിന്റെ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ ബെല്ലോസ് വാൽവുകൾ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്.
ക്ലീൻ ഡ്രൈ കംപ്രസ്ഡ് എയർ (CDA) സിസ്റ്റം പൈപ്പുകൾ മിനുക്കിയ അകത്തെ ഭിത്തികളുള്ള OCr18Ni9 സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകൾ (304) കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, കൂടാതെ വാൽവുകൾ അതേ മെറ്റീരിയലിന്റെ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ ബെല്ലോസ് വാൽവുകൾ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്.
ശ്വസന കംപ്രസ്ഡ് എയർ (BA) സിസ്റ്റം പൈപ്പുകൾ മിനുക്കിയ അകത്തെ ഭിത്തികളുള്ള OCr18Ni9 സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകൾ (304) കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, കൂടാതെ വാൽവുകൾ അതേ മെറ്റീരിയലിന്റെ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ ബോൾ വാൽവുകൾ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്.
പ്രോസസ് വാക്വം (പിവി) സിസ്റ്റം പൈപ്പുകൾ യുപിവിസി പൈപ്പുകൾ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, വാൽവുകൾ അതേ മെറ്റീരിയൽ കൊണ്ട് നിർമ്മിച്ച വാക്വം ബട്ടർഫ്ലൈ വാൽവുകൾ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്.
ക്ലീനിംഗ് വാക്വം (HV) സിസ്റ്റം പൈപ്പുകൾ UPVC പൈപ്പുകൾ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, വാൽവുകൾ അതേ മെറ്റീരിയൽ കൊണ്ട് നിർമ്മിച്ച വാക്വം ബട്ടർഫ്ലൈ വാൽവുകൾ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്.
പ്രത്യേക ഗ്യാസ് സിസ്റ്റത്തിന്റെ പൈപ്പുകളെല്ലാം 00Cr17Ni12Mo2Ti ലോ-കാർബൺ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകൾ (316L) കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, ഇലക്ട്രോപോളിഷ് ചെയ്ത അകത്തെ ഭിത്തികളുമുണ്ട്, കൂടാതെ വാൽവുകൾ അതേ മെറ്റീരിയലിന്റെ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ ബെല്ലോസ് വാൽവുകൾ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്.

3 പൈപ്പ് ലൈനുകളുടെ നിർമ്മാണവും ഇൻസ്റ്റാളേഷനും
3.1 “ക്ലീൻ ഫാക്ടറി ബിൽഡിംഗ് ഡിസൈൻ കോഡിന്റെ” സെക്ഷൻ 8.3 പൈപ്പ്‌ലൈൻ കണക്ഷനുകൾക്കായി ഇനിപ്പറയുന്ന വ്യവസ്ഥകൾ വ്യവസ്ഥ ചെയ്യുന്നു:
(1) പൈപ്പ് കണക്ഷനുകൾ വെൽഡ് ചെയ്യണം, എന്നാൽ ഹോട്ട്-ഡിപ്പ് ഗാൽവാനൈസ്ഡ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകൾ ത്രെഡ് ചെയ്യണം. ത്രെഡ് കണക്ഷനുകളുടെ സീലിംഗ് മെറ്റീരിയൽ ഈ സ്പെസിഫിക്കേഷന്റെ ആർട്ടിക്കിൾ 8.3.3 ന്റെ ആവശ്യകതകൾ പാലിക്കണം.
(2) സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകൾ ആർഗോൺ ആർക്ക് വെൽഡിംഗും ബട്ട് വെൽഡിംഗോ സോക്കറ്റ് വെൽഡിംഗോ ഉപയോഗിച്ച് ബന്ധിപ്പിക്കണം, എന്നാൽ ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള ഗ്യാസ് പൈപ്പ്ലൈനുകൾ അകത്തെ ഭിത്തിയിൽ അടയാളങ്ങളില്ലാതെ ബട്ട് വെൽഡിംഗ് ഉപയോഗിച്ച് ബന്ധിപ്പിക്കണം.
(3) പൈപ്പ് ലൈനുകളും ഉപകരണങ്ങളും തമ്മിലുള്ള കണക്ഷൻ ഉപകരണങ്ങളുടെ കണക്ഷൻ ആവശ്യകതകൾക്ക് അനുസൃതമായിരിക്കണം. ഹോസ് കണക്ഷനുകൾ ഉപയോഗിക്കുമ്പോൾ, ലോഹ ഹോസുകൾ ഉപയോഗിക്കണം.
(4) പൈപ്പ്ലൈനുകളും വാൽവുകളും തമ്മിലുള്ള കണക്ഷൻ താഴെപ്പറയുന്ന നിയന്ത്രണങ്ങൾ പാലിക്കണം.

① ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള ഗ്യാസ് പൈപ്പ്‌ലൈനുകളെയും വാൽവുകളെയും ബന്ധിപ്പിക്കുന്ന സീലിംഗ് മെറ്റീരിയൽ ഉൽ‌പാദന പ്രക്രിയയുടെയും വാതക സവിശേഷതകളുടെയും ആവശ്യകതകൾക്കനുസരിച്ച് ലോഹ ഗാസ്കറ്റുകളോ ഇരട്ട ഫെറൂളുകളോ ഉപയോഗിക്കണം.
②ത്രെഡ് അല്ലെങ്കിൽ ഫ്ലേഞ്ച് കണക്ഷനിലെ സീലിംഗ് മെറ്റീരിയൽ പോളിടെട്രാഫ്ലൂറോഎത്തിലീൻ ആയിരിക്കണം.
3.2 സ്പെസിഫിക്കേഷനുകളുടെയും പ്രസക്തമായ സാങ്കേതിക നടപടികളുടെയും ആവശ്യകതകൾ അനുസരിച്ച്, ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള ഗ്യാസ് പൈപ്പ്ലൈനുകളുടെ കണക്ഷൻ കഴിയുന്നത്ര വെൽഡ് ചെയ്യണം. വെൽഡിംഗ് സമയത്ത് നേരിട്ടുള്ള ബട്ട് വെൽഡിംഗ് ഒഴിവാക്കണം. പൈപ്പ് സ്ലീവുകളോ ഫിനിഷ്ഡ് ജോയിന്റുകളോ ഉപയോഗിക്കണം. പൈപ്പ് സ്ലീവുകൾ പൈപ്പുകളുടെ അതേ മെറ്റീരിയലും ആന്തരിക ഉപരിതല സുഗമതയും കൊണ്ട് നിർമ്മിക്കണം. ലെവൽ, വെൽഡിംഗ് സമയത്ത്, വെൽഡിംഗ് ഭാഗത്തിന്റെ ഓക്സീകരണം തടയുന്നതിന്, വെൽഡിംഗ് പൈപ്പിലേക്ക് ശുദ്ധമായ സംരക്ഷണ വാതകം കൊണ്ടുവരണം. സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകൾക്ക്, ആർഗൺ ആർക്ക് വെൽഡിംഗ് ഉപയോഗിക്കണം, പൈപ്പിലേക്ക് അതേ പരിശുദ്ധിയുടെ ആർഗൺ വാതകം കൊണ്ടുവരണം. ത്രെഡ്ഡ് കണക്ഷൻ അല്ലെങ്കിൽ ത്രെഡ് കണക്ഷൻ ഉപയോഗിക്കണം. ഫ്ലേഞ്ചുകൾ ബന്ധിപ്പിക്കുമ്പോൾ, ത്രെഡ് കണക്ഷനുകൾക്ക് ഫെറൂളുകൾ ഉപയോഗിക്കണം. ഓക്സിജൻ പൈപ്പുകളും ഹൈഡ്രജൻ പൈപ്പുകളും ഒഴികെ, ലോഹ ഗാസ്കറ്റുകൾ ഉപയോഗിക്കണം, മറ്റ് പൈപ്പുകൾ പോളിടെട്രാഫ്ലൂറോഎത്തിലീൻ ഗാസ്കറ്റുകൾ ഉപയോഗിക്കണം. ഗാസ്കറ്റുകളിൽ ചെറിയ അളവിൽ സിലിക്കൺ റബ്ബർ പ്രയോഗിക്കുന്നതും ഫലപ്രദമാകും. സീലിംഗ് പ്രഭാവം വർദ്ധിപ്പിക്കുക. ഫ്ലേഞ്ച് കണക്ഷനുകൾ നിർമ്മിക്കുമ്പോൾ സമാനമായ നടപടികൾ കൈക്കൊള്ളണം.
ഇൻസ്റ്റാളേഷൻ ജോലികൾ ആരംഭിക്കുന്നതിന് മുമ്പ്, പൈപ്പുകളുടെ വിശദമായ ദൃശ്യ പരിശോധന,ഫിറ്റിംഗുകൾ, വാൽവുകൾ മുതലായവ നടത്തണം. സാധാരണ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകളുടെ അകത്തെ ഭിത്തി ഇൻസ്റ്റാളേഷന് മുമ്പ് അച്ചാറിടണം. ഓക്സിജൻ പൈപ്പ്ലൈനുകളുടെ പൈപ്പുകൾ, ഫിറ്റിംഗുകൾ, വാൽവുകൾ മുതലായവയിൽ എണ്ണ പുറന്തള്ളുന്നത് കർശനമായി നിരോധിക്കണം, കൂടാതെ ഇൻസ്റ്റാളേഷന് മുമ്പ് പ്രസക്തമായ ആവശ്യകതകൾക്കനുസരിച്ച് കർശനമായി ഡീഗ്രേസ് ചെയ്യണം.
സിസ്റ്റം ഇൻസ്റ്റാൾ ചെയ്ത് ഉപയോഗത്തിൽ വരുത്തുന്നതിനുമുമ്പ്, വിതരണം ചെയ്ത ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള വാതകം ഉപയോഗിച്ച് ട്രാൻസ്മിഷൻ, വിതരണ പൈപ്പ്ലൈൻ സംവിധാനം പൂർണ്ണമായും ശുദ്ധീകരിക്കണം. ഇത് ഇൻസ്റ്റാളേഷൻ പ്രക്രിയയിൽ ആകസ്മികമായി സിസ്റ്റത്തിൽ വീണ പൊടിപടലങ്ങളെ പറത്തിവിടുക മാത്രമല്ല, പൈപ്പ്ലൈൻ സിസ്റ്റത്തിൽ ഉണക്കൽ പങ്ക് വഹിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു, പൈപ്പ് ഭിത്തിയും പൈപ്പ് മെറ്റീരിയലും പോലും ആഗിരണം ചെയ്യുന്ന ഈർപ്പം അടങ്ങിയ വാതകത്തിന്റെ ഒരു ഭാഗം നീക്കം ചെയ്യുന്നു.

4. പൈപ്പ്ലൈൻ മർദ്ദ പരിശോധനയും സ്വീകാര്യതയും
(1) സിസ്റ്റം ഇൻസ്റ്റാൾ ചെയ്ത ശേഷം, പ്രത്യേക ഗ്യാസ് പൈപ്പ്‌ലൈനുകളിൽ ഉയർന്ന വിഷാംശമുള്ള ദ്രാവകങ്ങൾ കൊണ്ടുപോകുന്ന പൈപ്പുകളുടെ 100% റേഡിയോഗ്രാഫിക് പരിശോധന നടത്തണം, കൂടാതെ അവയുടെ ഗുണനിലവാരം ലെവൽ II നേക്കാൾ കുറവായിരിക്കരുത്. മറ്റ് പൈപ്പുകൾ സാമ്പിൾ റേഡിയോഗ്രാഫിക് പരിശോധനയ്ക്ക് വിധേയമാക്കണം, കൂടാതെ സാമ്പിൾ പരിശോധന അനുപാതം 5% ൽ കുറയരുത്, ഗുണനിലവാരം ഗ്രേഡ് III നേക്കാൾ കുറവായിരിക്കരുത്.
(2) നോൺ-ഡിസ്ട്രക്റ്റീവ് പരിശോധനയിൽ വിജയിച്ചതിന് ശേഷം, ഒരു പ്രഷർ ടെസ്റ്റ് നടത്തണം. പൈപ്പിംഗ് സിസ്റ്റത്തിന്റെ വരൾച്ചയും വൃത്തിയും ഉറപ്പാക്കാൻ, ഒരു ഹൈഡ്രോളിക് പ്രഷർ ടെസ്റ്റ് നടത്തരുത്, മറിച്ച് ഒരു ന്യൂമാറ്റിക് പ്രഷർ ടെസ്റ്റ് ഉപയോഗിക്കണം. വൃത്തിയുള്ള മുറിയുടെ ശുചിത്വ നിലവാരവുമായി പൊരുത്തപ്പെടുന്ന നൈട്രജൻ അല്ലെങ്കിൽ കംപ്രസ് ചെയ്ത വായു ഉപയോഗിച്ചാണ് വായു മർദ്ദ പരിശോധന നടത്തേണ്ടത്. പൈപ്പ്ലൈനിന്റെ ടെസ്റ്റ് മർദ്ദം ഡിസൈൻ മർദ്ദത്തിന്റെ 1.15 മടങ്ങ് ആയിരിക്കണം, വാക്വം പൈപ്പ്ലൈനിന്റെ ടെസ്റ്റ് മർദ്ദം 0.2MPa ആയിരിക്കണം. പരിശോധനയ്ക്കിടെ, മർദ്ദം ക്രമേണയും സാവധാനത്തിലും വർദ്ധിപ്പിക്കണം. ടെസ്റ്റ് മർദ്ദത്തിന്റെ 50% ആയി മർദ്ദം ഉയരുമ്പോൾ, അസാധാരണത്വമോ ചോർച്ചയോ കണ്ടെത്തിയില്ലെങ്കിൽ, ടെസ്റ്റ് മർദ്ദത്തിന്റെ 10% ഘട്ടം ഘട്ടമായി മർദ്ദം വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നത് തുടരുക, ടെസ്റ്റ് മർദ്ദം വരെ ഓരോ ലെവലിലും 3 മിനിറ്റ് മർദ്ദം സ്ഥിരപ്പെടുത്തുക. 10 മിനിറ്റ് മർദ്ദം സ്ഥിരപ്പെടുത്തുക, തുടർന്ന് ഡിസൈൻ മർദ്ദത്തിലേക്ക് മർദ്ദം കുറയ്ക്കുക. ചോർച്ച കണ്ടെത്തലിന്റെ ആവശ്യങ്ങൾക്കനുസരിച്ച് പ്രഷർ സ്റ്റോപ്പ് സമയം നിർണ്ണയിക്കണം. ചോർച്ചയില്ലെങ്കിൽ ഫോമിംഗ് ഏജന്റ് യോഗ്യത നേടുന്നു.
(3) വാക്വം സിസ്റ്റം പ്രഷർ ടെസ്റ്റ് വിജയിച്ചതിന് ശേഷം, ഡിസൈൻ രേഖകൾ അനുസരിച്ച് 24 മണിക്കൂർ വാക്വം ഡിഗ്രി ടെസ്റ്റ് നടത്തണം, കൂടാതെ പ്രഷറൈസേഷൻ നിരക്ക് 5% ൽ കൂടുതലാകരുത്.
(4) ചോർച്ച പരിശോധന. പ്രസക്തമായ സ്പെസിഫിക്കേഷനുകൾ അനുസരിച്ച്, പിപിബി, പിപിടി ഗ്രേഡ് പൈപ്പ്‌ലൈൻ സിസ്റ്റങ്ങൾക്ക്, ചോർച്ച യോഗ്യതയുള്ളതായി കണക്കാക്കരുത്, പക്ഷേ രൂപകൽപ്പന സമയത്ത് ചോർച്ച അളവ് പരിശോധന ഉപയോഗിക്കുന്നു, അതായത്, വായു ഇറുകിയ പരിശോധനയ്ക്ക് ശേഷം ചോർച്ച അളവ് പരിശോധന നടത്തുന്നു. മർദ്ദം പ്രവർത്തന സമ്മർദ്ദമാണ്, മർദ്ദം 24 മണിക്കൂർ നിർത്തുന്നു. ശരാശരി മണിക്കൂർ ചോർച്ച യോഗ്യതയുള്ളതുപോലെ 50ppm-ൽ കുറവോ തുല്യമോ ആണ്. ചോർച്ചയുടെ കണക്കുകൂട്ടൽ ഇപ്രകാരമാണ്:
എ=(1-പി2ടി1/പി1ടി2)*100/ടി
ഫോർമുലയിൽ:
ഒരു മണിക്കൂർ ചോർച്ച (%)
P1- പരിശോധനയുടെ തുടക്കത്തിലെ കേവല മർദ്ദം (Pa)
P2- പരിശോധനയുടെ അവസാനം കേവല മർദ്ദം (Pa)
പരിശോധനയുടെ തുടക്കത്തിലെ T1- കേവല താപനില (K)
പരിശോധനയുടെ അവസാനം T2- കേവല താപനില (K)