ഇലക്ട്രോണിക് എഞ്ചിനീയറിംഗ് സിസ്റ്റങ്ങളിൽ ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള ഗ്യാസ് പൈപ്പ്ലൈനുകളുടെ പ്രയോഗം

909 പ്രോജക്റ്റ് വെരി ലാർജ് സ്കെയിൽ ഇൻ്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ട് ഫാക്ടറി ഒമ്പതാം പഞ്ചവത്സര പദ്ധതിയിൽ 0.18 മൈക്രോൺ ലൈൻ വീതിയും 200 എംഎം വ്യാസവുമുള്ള ചിപ്പുകൾ നിർമ്മിക്കാനുള്ള എൻ്റെ രാജ്യത്തെ ഇലക്ട്രോണിക്സ് വ്യവസായത്തിൻ്റെ ഒരു പ്രധാന നിർമ്മാണ പദ്ധതിയാണ്.

വളരെ വലിയ തോതിലുള്ള ഇൻ്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകളുടെ നിർമ്മാണ സാങ്കേതികവിദ്യ മൈക്രോ-മെഷീനിംഗ് പോലുള്ള ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള സാങ്കേതികവിദ്യകൾ മാത്രമല്ല, വാതക ശുദ്ധീകരണത്തിന് ഉയർന്ന ആവശ്യകതകളും നൽകുന്നു.
പ്രൊജക്റ്റ് 909-ന് വേണ്ടിയുള്ള ബൾക്ക് ഗ്യാസ് വിതരണം, യുണൈറ്റഡ് സ്റ്റേറ്റ്സിലെ പ്രാക്‌സ്എയർ യൂട്ടിലിറ്റി ഗ്യാസ് കോ. ലിമിറ്റഡും ഷാങ്ഹായിലെ പ്രസക്ത കക്ഷികളും സംയുക്തമായി ഗ്യാസ് പ്രൊഡക്ഷൻ പ്ലാൻ്റ് സ്ഥാപിക്കുന്നതിനുള്ള സംയുക്ത സംരംഭമാണ് നൽകുന്നത്. ഏകദേശം 15,000 ചതുരശ്ര മീറ്റർ വിസ്തൃതിയുള്ള കെട്ടിടം. വിവിധ വാതകങ്ങളുടെ പരിശുദ്ധിയും ഔട്ട്പുട്ട് ആവശ്യകതകളും

ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള നൈട്രജൻ (PN2), നൈട്രജൻ (N2), ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള ഓക്സിജൻ (PO2) എന്നിവ വായു വിഭജനം വഴി ഉത്പാദിപ്പിക്കപ്പെടുന്നു. ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള ഹൈഡ്രജൻ (PH2) വൈദ്യുതവിശ്ലേഷണം വഴി ഉത്പാദിപ്പിക്കപ്പെടുന്നു. ആർഗോൺ (ആർ), ഹീലിയം (അദ്ദേഹം) എന്നിവ ഔട്ട്‌സോഴ്‌സിൽ വാങ്ങുന്നു. പ്രോജക്റ്റ് 909-ൽ ഉപയോഗിക്കുന്നതിനായി ക്വാസി-ഗ്യാസ് ശുദ്ധീകരിക്കുകയും ഫിൽട്ടർ ചെയ്യുകയും ചെയ്യുന്നു. പ്രത്യേക വാതകം കുപ്പികളിൽ വിതരണം ചെയ്യുന്നു, കൂടാതെ ഇൻ്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ട് പ്രൊഡക്ഷൻ പ്ലാൻ്റിൻ്റെ സഹായ വർക്ക്ഷോപ്പിലാണ് ഗ്യാസ് ബോട്ടിൽ കാബിനറ്റ് സ്ഥിതി ചെയ്യുന്നത്.
മറ്റ് വാതകങ്ങളിൽ ക്ലീൻ ഡ്രൈ കംപ്രസ്ഡ് എയർ സിഡിഎ സിസ്റ്റവും ഉൾപ്പെടുന്നു, ഉപയോഗത്തിൻ്റെ അളവ് 4185m3/h, പ്രഷർ ഡ്യൂ പോയിൻ്റ് -70°C, ഉപയോഗ സമയത്ത് വാതകത്തിൽ 0.01um-ൽ കൂടാത്ത കണികാ വലിപ്പം. ബ്രീത്തിംഗ് കംപ്രസ്ഡ് എയർ (BA) സിസ്റ്റം, ഉപയോഗ വോളിയം 90m3/h, പ്രഷർ ഡ്യൂ പോയിൻ്റ് 2℃, ഉപയോഗിക്കുന്ന സ്ഥലത്ത് വാതകത്തിലെ കണികാ വലിപ്പം 0.3um-ൽ കൂടുതലല്ല, പ്രോസസ്സ് വാക്വം (PV) സിസ്റ്റം, ഉപയോഗ അളവ് 582m3/h, ഉപയോഗ സ്ഥലത്ത് വാക്വം ഡിഗ്രി -79993Pa . ക്ലീനിംഗ് വാക്വം (HV) സിസ്റ്റം, ഉപയോഗ വോളിയം 1440m3/h, ഉപയോഗ പോയിൻ്റിലെ വാക്വം ഡിഗ്രി -59995 Pa. എയർ കംപ്രസർ റൂമും വാക്വം പമ്പ് റൂമും 909 പ്രൊജക്റ്റ് ഫാക്ടറി ഏരിയയിലാണ് സ്ഥിതി ചെയ്യുന്നത്.

പൈപ്പ് മെറ്റീരിയലുകളുടെയും അനുബന്ധ ഉപകരണങ്ങളുടെയും തിരഞ്ഞെടുപ്പ്
VLSI ഉൽപ്പാദനത്തിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന വാതകത്തിന് വളരെ ഉയർന്ന ശുചിത്വ ആവശ്യകതകളുണ്ട്.ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള ഗ്യാസ് പൈപ്പ്ലൈനുകൾശുദ്ധമായ ഉൽപ്പാദന പരിതസ്ഥിതികളിലാണ് സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്നത്, അവയുടെ ശുചിത്വ നിയന്ത്രണം ഉപയോഗത്തിലുള്ള സ്ഥലത്തിൻ്റെ ശുചിത്വ നിലവാരവുമായി പൊരുത്തപ്പെടുന്നതോ അതിലും ഉയർന്നതോ ആയിരിക്കണം! കൂടാതെ, ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള ഗ്യാസ് പൈപ്പ്ലൈനുകൾ പലപ്പോഴും ശുദ്ധമായ ഉൽപ്പാദന പരിതസ്ഥിതികളിൽ ഉപയോഗിക്കുന്നു. ശുദ്ധമായ ഹൈഡ്രജൻ (PH2), ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള ഓക്സിജൻ (PO2), ചില പ്രത്യേക വാതകങ്ങൾ എന്നിവ കത്തുന്ന, സ്ഫോടനാത്മക, ജ്വലന-പിന്തുണയുള്ള അല്ലെങ്കിൽ വിഷവാതകങ്ങളാണ്. ഗ്യാസ് പൈപ്പ്ലൈൻ സംവിധാനം തെറ്റായി രൂപകൽപ്പന ചെയ്തതോ അല്ലെങ്കിൽ വസ്തുക്കൾ തെറ്റായി തിരഞ്ഞെടുക്കപ്പെട്ടതോ ആണെങ്കിൽ, ഗ്യാസ് പോയിൻ്റിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന വാതകത്തിൻ്റെ പരിശുദ്ധി കുറയുക മാത്രമല്ല, അത് പരാജയപ്പെടുകയും ചെയ്യും. ഇത് പ്രോസസ്സ് ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്നു, എന്നാൽ ഇത് ഉപയോഗിക്കുന്നത് സുരക്ഷിതമല്ലാത്തതിനാൽ വൃത്തിയുള്ള ഫാക്ടറിയിൽ മലിനീകരണം ഉണ്ടാക്കുകയും വൃത്തിയുള്ള ഫാക്ടറിയുടെ സുരക്ഷയെയും വൃത്തിയെയും ബാധിക്കുകയും ചെയ്യും.
ഉപയോഗ സമയത്ത് ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള വാതകത്തിൻ്റെ ഗുണനിലവാരത്തിൻ്റെ ഗ്യാരണ്ടി ഗ്യാസ് ഉൽപാദനം, ശുദ്ധീകരണ ഉപകരണങ്ങൾ, ഫിൽട്ടറുകൾ എന്നിവയുടെ കൃത്യതയെ ആശ്രയിച്ചിരിക്കുന്നു മാത്രമല്ല, പൈപ്പ്ലൈൻ സംവിധാനത്തിലെ പല ഘടകങ്ങളാലും വലിയ അളവിൽ ബാധിക്കുന്നു. ഗ്യാസ് പ്രൊഡക്ഷൻ ഉപകരണങ്ങൾ, ശുദ്ധീകരണ ഉപകരണങ്ങൾ, ഫിൽട്ടറുകൾ എന്നിവയെയാണ് ഞങ്ങൾ ആശ്രയിക്കുന്നതെങ്കിൽ, അനുചിതമായ ഗ്യാസ് പൈപ്പിംഗ് സിസ്റ്റം ഡിസൈൻ അല്ലെങ്കിൽ മെറ്റീരിയൽ സെലക്ഷൻ എന്നിവയ്ക്ക് നഷ്ടപരിഹാരം നൽകുന്നതിന് അനന്തമായ ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള ആവശ്യകതകൾ ചുമത്തുന്നത് തെറ്റാണ്.
909 പ്രോജക്റ്റിൻ്റെ ഡിസൈൻ പ്രക്രിയയിൽ, ഞങ്ങൾ "വൃത്തിയുള്ള സസ്യങ്ങളുടെ രൂപകൽപ്പനയ്ക്കുള്ള കോഡ്" GBJ73-84 (നിലവിലെ നിലവാരം (GB50073-2001)), "കംപ്രസ്ഡ് എയർ സ്റ്റേഷനുകളുടെ രൂപകൽപ്പനയ്ക്കുള്ള കോഡ്" GBJ29-90, "കോഡ് ഓക്സിജൻ സ്റ്റേഷനുകളുടെ രൂപകൽപ്പനയ്ക്ക്" GB50030-91 , "ഹൈഡ്രജൻ, ഓക്സിജൻ സ്റ്റേഷനുകളുടെ രൂപകൽപ്പനയ്ക്കുള്ള കോഡ്" GB50177-93, കൂടാതെ പൈപ്പ്ലൈൻ മെറ്റീരിയലുകളും അനുബന്ധ ഉപകരണങ്ങളും തിരഞ്ഞെടുക്കുന്നതിനുള്ള പ്രസക്തമായ സാങ്കേതിക നടപടികൾ. "വൃത്തിയുള്ള സസ്യങ്ങളുടെ രൂപകൽപ്പനയ്ക്കുള്ള കോഡ്" പൈപ്പ്ലൈൻ മെറ്റീരിയലുകളുടെയും വാൽവുകളുടെയും തിരഞ്ഞെടുപ്പ് ഇനിപ്പറയുന്ന രീതിയിൽ അനുശാസിക്കുന്നു:

(1) വാതക ശുദ്ധി 99.999%-നേക്കാൾ കൂടുതലോ അതിന് തുല്യമോ ആണെങ്കിൽ, മഞ്ഞു പോയിൻ്റ് -76°C-നേക്കാൾ കുറവാണെങ്കിൽ, ഇലക്ട്രോപോളിഷ് ചെയ്ത അകത്തെ ഭിത്തിയുള്ള ലോ-കാർബൺ സ്റ്റെയിൻലെസ്സ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പ് (316L) അല്ലെങ്കിൽ OCr18Ni9 സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പ് (304) ഉള്ള 00Cr17Ni12Mo2Ti ഇലക്ട്രോപോളിഷ് ചെയ്ത അകത്തെ മതിൽ ഉപയോഗിക്കണം. വാൽവ് ഒരു ഡയഫ്രം വാൽവ് അല്ലെങ്കിൽ ബെല്ലോസ് വാൽവ് ആയിരിക്കണം.

(2) വാതക ശുദ്ധി 99.99%-നേക്കാൾ കൂടുതലോ അതിന് തുല്യമോ ആണെങ്കിൽ, മഞ്ഞു പോയിൻ്റ് -60°C-ൽ കുറവാണെങ്കിൽ, ഇലക്ട്രോപോളിഷ് ചെയ്ത അകത്തെ ഭിത്തിയുള്ള OCr18Ni9 സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ ട്യൂബ് (304) ഉപയോഗിക്കണം. ജ്വലന വാതക പൈപ്പ്ലൈനുകൾക്ക് ഉപയോഗിക്കേണ്ട ബെല്ലോസ് വാൽവുകൾ ഒഴികെ, മറ്റ് ഗ്യാസ് പൈപ്പ്ലൈനുകൾക്ക് ബോൾ വാൽവുകൾ ഉപയോഗിക്കണം.

(3) വരണ്ട കംപ്രസ് ചെയ്ത വായുവിൻ്റെ മഞ്ഞു പോയിൻ്റ് -70°C-ൽ താഴെയാണെങ്കിൽ, OCr18Ni9 സ്റ്റെയിൻലെസ്സ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പ് (304) മിനുക്കിയ അകത്തെ ഭിത്തി ഉപയോഗിക്കണം. മഞ്ഞു പോയിൻ്റ് -40℃-നേക്കാൾ കുറവാണെങ്കിൽ, OCr18Ni9 സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പ് (304) അല്ലെങ്കിൽ ഹോട്ട്-ഡിപ്പ് ഗാൽവനൈസ്ഡ് സീംലെസ്സ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പ് ഉപയോഗിക്കണം. വാൽവ് ഒരു ബെല്ലോസ് വാൽവ് അല്ലെങ്കിൽ ഒരു ബോൾ വാൽവ് ആയിരിക്കണം.

(4) വാൽവ് മെറ്റീരിയൽ ബന്ധിപ്പിക്കുന്ന പൈപ്പ് മെറ്റീരിയലുമായി പൊരുത്തപ്പെടണം.

സ്പെസിഫിക്കേഷനുകളുടെയും പ്രസക്തമായ സാങ്കേതിക നടപടികളുടെയും ആവശ്യകതകൾ അനുസരിച്ച്, പൈപ്പ്ലൈൻ മെറ്റീരിയലുകൾ തിരഞ്ഞെടുക്കുമ്പോൾ ഞങ്ങൾ പ്രധാനമായും ഇനിപ്പറയുന്ന വശങ്ങൾ പരിഗണിക്കുന്നു:

(1) പൈപ്പ് മെറ്റീരിയലുകളുടെ വായു പ്രവേശനക്ഷമത ചെറുതായിരിക്കണം. വിവിധ വസ്തുക്കളുടെ പൈപ്പുകൾക്ക് വ്യത്യസ്ത വായു പ്രവേശനക്ഷമതയുണ്ട്. കൂടുതൽ വായു പ്രവേശനക്ഷമതയുള്ള പൈപ്പുകൾ തിരഞ്ഞെടുത്താൽ, മലിനീകരണം നീക്കം ചെയ്യാൻ കഴിയില്ല. അന്തരീക്ഷത്തിലെ ഓക്സിജൻ്റെ തുളച്ചുകയറുന്നതും തുരുമ്പെടുക്കുന്നതും തടയാൻ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകളും ചെമ്പ് പൈപ്പുകളും നല്ലതാണ്. എന്നിരുന്നാലും, സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകൾ ചെമ്പ് പൈപ്പുകളേക്കാൾ സജീവമല്ലാത്തതിനാൽ, അന്തരീക്ഷത്തിലെ ഈർപ്പം അവയുടെ ആന്തരിക ഉപരിതലത്തിലേക്ക് തുളച്ചുകയറാൻ അനുവദിക്കുന്നതിൽ ചെമ്പ് പൈപ്പുകൾ കൂടുതൽ സജീവമാണ്. അതിനാൽ, ഉയർന്ന പ്യൂരിറ്റി ഗ്യാസ് പൈപ്പ്ലൈനുകൾക്കായി പൈപ്പുകൾ തിരഞ്ഞെടുക്കുമ്പോൾ, സ്റ്റെയിൻലെസ്സ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകൾ ആദ്യം തിരഞ്ഞെടുക്കണം.

(2) പൈപ്പ് മെറ്റീരിയലിൻ്റെ ആന്തരിക ഉപരിതലം ആഗിരണം ചെയ്യപ്പെടുകയും വാതകത്തെ വിശകലനം ചെയ്യുന്നതിൽ ചെറിയ സ്വാധീനം ചെലുത്തുകയും ചെയ്യുന്നു. സ്റ്റെയിൻലെസ്സ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പ് പ്രോസസ്സ് ചെയ്ത ശേഷം, ഒരു നിശ്ചിത അളവിലുള്ള വാതകം അതിൻ്റെ മെറ്റൽ ലാറ്റിസിൽ നിലനിർത്തും. ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള വാതകം കടന്നുപോകുമ്പോൾ, വാതകത്തിൻ്റെ ഈ ഭാഗം വായുപ്രവാഹത്തിലേക്ക് പ്രവേശിക്കുകയും മലിനീകരണത്തിന് കാരണമാവുകയും ചെയ്യും. അതേ സമയം, അഡോർപ്ഷനും വിശകലനവും കാരണം, പൈപ്പിൻ്റെ ആന്തരിക ഉപരിതലത്തിലുള്ള ലോഹവും ഒരു നിശ്ചിത അളവിലുള്ള പൊടി ഉൽപ്പാദിപ്പിക്കുകയും, ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള വാതകത്തിന് മലിനീകരണം ഉണ്ടാക്കുകയും ചെയ്യും. 99.999% അല്ലെങ്കിൽ ppb ലെവലിന് മുകളിലുള്ള പൈപ്പിംഗ് സിസ്റ്റങ്ങൾക്ക്, 00Cr17Ni12Mo2Ti കുറഞ്ഞ കാർബൺ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പ് (316L) ഉപയോഗിക്കണം.

(3) സ്റ്റെയിൻലെസ്സ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകളുടെ തേയ്മാന പ്രതിരോധം ചെമ്പ് പൈപ്പുകളേക്കാൾ മികച്ചതാണ്, കൂടാതെ വായു പ്രവാഹം മൂലമുണ്ടാകുന്ന ലോഹപ്പൊടി താരതമ്യേന കുറവാണ്. ശുചിത്വത്തിന് ഉയർന്ന ആവശ്യകതകളുള്ള പ്രൊഡക്ഷൻ വർക്ക് ഷോപ്പുകൾക്ക് 00Cr17Ni12Mo2Ti കുറഞ്ഞ കാർബൺ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകൾ (316L) അല്ലെങ്കിൽ OCr18Ni9 സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകൾ (304) ഉപയോഗിക്കാം, ചെമ്പ് പൈപ്പുകൾ ഉപയോഗിക്കരുത്.

(4) 99.999% അല്ലെങ്കിൽ ppb അല്ലെങ്കിൽ ppt ലെവലിന് മുകളിലുള്ള ഗ്യാസ് പ്യൂരിറ്റി ഉള്ള പൈപ്പിംഗ് സിസ്റ്റങ്ങൾക്ക് അല്ലെങ്കിൽ "ക്ലീൻ ഫാക്ടറി ഡിസൈൻ കോഡിൽ" വ്യക്തമാക്കിയിട്ടുള്ള N1-N6 വായു ശുദ്ധിയുള്ള വൃത്തിയുള്ള മുറികളിൽ, അൾട്രാ ക്ലീൻ പൈപ്പുകൾ അല്ലെങ്കിൽഇപി അൾട്രാ ക്ലീൻ പൈപ്പുകൾഉപയോഗിക്കണം. "അൾട്രാ മിനുസമാർന്ന ആന്തരിക പ്രതലത്തോടുകൂടിയ ക്ലീൻ ട്യൂബ്" വൃത്തിയാക്കുക.

(5) ഉൽപ്പാദന പ്രക്രിയയിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന ചില പ്രത്യേക വാതക പൈപ്പ് ലൈൻ സംവിധാനങ്ങൾ വളരെ നശിപ്പിക്കുന്ന വാതകങ്ങളാണ്. ഈ പൈപ്പ്ലൈൻ സിസ്റ്റങ്ങളിലെ പൈപ്പുകൾ പൈപ്പുകളായി തുരുമ്പെടുക്കാത്ത സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകൾ ഉപയോഗിക്കണം. അല്ലാത്തപക്ഷം, തുരുമ്പെടുത്ത് പൈപ്പുകൾ കേടാകും. ഉപരിതലത്തിൽ നാശത്തിൻ്റെ പാടുകൾ ഉണ്ടായാൽ, സാധാരണ തടസ്സമില്ലാത്ത സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകളോ ഗാൽവാനൈസ്ഡ് വെൽഡിഡ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകളോ ഉപയോഗിക്കരുത്.

(6) തത്വത്തിൽ, എല്ലാ ഗ്യാസ് പൈപ്പ്ലൈൻ കണക്ഷനുകളും വെൽഡിംഗ് ചെയ്യണം. ഗാൽവാനൈസ്ഡ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകളുടെ വെൽഡിംഗ് ഗാൽവാനൈസ്ഡ് പാളിയെ നശിപ്പിക്കുമെന്നതിനാൽ, വൃത്തിയുള്ള മുറികളിൽ പൈപ്പുകൾക്ക് ഗാൽവാനൈസ്ഡ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകൾ ഉപയോഗിക്കാറില്ല.

മേൽപ്പറഞ്ഞ ഘടകങ്ങൾ കണക്കിലെടുക്കുമ്പോൾ, &7& പദ്ധതിയിൽ തിരഞ്ഞെടുത്ത ഗ്യാസ് പൈപ്പ്ലൈൻ പൈപ്പുകളും വാൽവുകളും താഴെ പറയുന്നവയാണ്:

ഹൈ-പ്യൂരിറ്റി നൈട്രജൻ (PN2) സിസ്റ്റം പൈപ്പുകൾ 00Cr17Ni12Mo2Ti ലോ-കാർബൺ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകൾ (316L) കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, ഇലക്ട്രോപോളിഷ് ചെയ്ത ആന്തരിക ഭിത്തികളോടെയാണ് വാൽവുകൾ നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്.
നൈട്രജൻ (N2) സിസ്റ്റം പൈപ്പുകൾ 00Cr17Ni12Mo2Ti ലോ-കാർബൺ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകൾ (316L) കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, ഇലക്ട്രോപോളിഷ് ചെയ്ത അകത്തെ ഭിത്തികൾ, വാൽവുകൾ ഒരേ മെറ്റീരിയലിൻ്റെ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ ബെല്ലോസ് വാൽവുകൾ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്.
ഹൈ-പ്യൂരിറ്റി ഹൈഡ്രജൻ (PH2) സിസ്റ്റം പൈപ്പുകൾ 00Cr17Ni12Mo2Ti ലോ-കാർബൺ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകൾ (316L) കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, ഇലക്ട്രോപോളിഷ് ചെയ്ത ആന്തരിക ഭിത്തികൾ, വാൽവുകൾ ഒരേ മെറ്റീരിയലിൻ്റെ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ ബെല്ലോസ് വാൽവുകൾ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്.
ഉയർന്ന പ്യൂരിറ്റി ഓക്സിജൻ (PO2) സിസ്റ്റം പൈപ്പുകൾ 00Cr17Ni12Mo2Ti ലോ-കാർബൺ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകൾ (316L) കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, ഇലക്ട്രോ-പോളിഷ് ചെയ്ത ആന്തരിക ഭിത്തികൾ, വാൽവുകൾ ഒരേ മെറ്റീരിയലിൻ്റെ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ ബെല്ലോസ് വാൽവുകൾ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്.
ആർഗൺ (Ar) സിസ്റ്റം പൈപ്പുകൾ 00Cr17Ni12Mo2Ti ലോ-കാർബൺ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകൾ (316L) കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, ഇലക്ട്രോപോളിഷ് ചെയ്ത ആന്തരിക ഭിത്തികൾ, അതേ മെറ്റീരിയലിൻ്റെ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ ബെല്ലോസ് വാൽവുകൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു.
ഹീലിയം (He) സിസ്റ്റം പൈപ്പുകൾ 00Cr17Ni12Mo2Ti ലോ-കാർബൺ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകൾ (316L) കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, ഇലക്ട്രോപോളിഷ് ചെയ്ത ആന്തരിക ഭിത്തികൾ, വാൽവുകൾ അതേ മെറ്റീരിയലിൻ്റെ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ ബെല്ലോസ് വാൽവുകൾ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്.
ശുദ്ധമായ ഡ്രൈ കംപ്രസ്ഡ് എയർ (CDA) സിസ്റ്റം പൈപ്പുകൾ OCr18Ni9 സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകൾ (304) മിനുക്കിയ ആന്തരിക ഭിത്തികൾ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, വാൽവുകൾ അതേ മെറ്റീരിയലിൻ്റെ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ ബെല്ലോസ് വാൽവുകൾ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്.
ബ്രീത്തിംഗ് കംപ്രസ്ഡ് എയർ (BA) സിസ്റ്റം പൈപ്പുകൾ OCr18Ni9 സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകൾ (304) മിനുക്കിയ ആന്തരിക ഭിത്തികൾ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, വാൽവുകൾ അതേ മെറ്റീരിയലിൻ്റെ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ ബോൾ വാൽവുകൾ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്.
പ്രോസസ്സ് വാക്വം (പിവി) സിസ്റ്റം പൈപ്പുകൾ യുപിവിസി പൈപ്പുകൾ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, വാൽവുകൾ ഒരേ മെറ്റീരിയലിൽ നിർമ്മിച്ച വാക്വം ബട്ടർഫ്ലൈ വാൽവുകൾ ഉപയോഗിച്ചാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്.
ക്ലീനിംഗ് വാക്വം (HV) സിസ്റ്റം പൈപ്പുകൾ UPVC പൈപ്പുകൾ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, വാൽവുകൾ ഒരേ മെറ്റീരിയലിൽ നിർമ്മിച്ച വാക്വം ബട്ടർഫ്ലൈ വാൽവുകൾ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്.
പ്രത്യേക ഗ്യാസ് സിസ്റ്റത്തിൻ്റെ പൈപ്പുകൾ എല്ലാം 00Cr17Ni12Mo2Ti ലോ-കാർബൺ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകൾ (316L) കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, ഇലക്ട്രോപോളിഷ് ചെയ്ത ആന്തരിക ഭിത്തികൾ, വാൽവുകൾ ഒരേ മെറ്റീരിയലിൻ്റെ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ ബെല്ലോസ് വാൽവുകൾ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്.

3 പൈപ്പ് ലൈനുകളുടെ നിർമ്മാണവും ഇൻസ്റ്റാളേഷനും
3.1 "ക്ലീൻ ഫാക്ടറി ബിൽഡിംഗ് ഡിസൈൻ കോഡിൻ്റെ" സെക്ഷൻ 8.3 പൈപ്പ്ലൈൻ കണക്ഷനുകൾക്കായി ഇനിപ്പറയുന്ന വ്യവസ്ഥകൾ അനുശാസിക്കുന്നു:
(1) പൈപ്പ് കണക്ഷനുകൾ വെൽഡ് ചെയ്യണം, പക്ഷേ ഹോട്ട്-ഡിപ്പ് ഗാൽവാനൈസ്ഡ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകൾ ത്രെഡ് ചെയ്യണം. ത്രെഡ് കണക്ഷനുകളുടെ സീലിംഗ് മെറ്റീരിയൽ ഈ സ്പെസിഫിക്കേഷൻ്റെ ആർട്ടിക്കിൾ 8.3.3 ൻ്റെ ആവശ്യകതകൾ പാലിക്കണം.
(2) സ്റ്റെയിൻലെസ്സ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകൾ ആർഗോൺ ആർക്ക് വെൽഡിംഗ്, ബട്ട് വെൽഡിംഗ് അല്ലെങ്കിൽ സോക്കറ്റ് വെൽഡിങ്ങ് എന്നിവ ഉപയോഗിച്ച് ബന്ധിപ്പിക്കണം, എന്നാൽ ഉയർന്ന പ്യൂരിറ്റി ഗ്യാസ് പൈപ്പ്ലൈനുകൾ അകത്തെ ഭിത്തിയിൽ അടയാളങ്ങളില്ലാതെ ബട്ട് വെൽഡിംഗ് വഴി ബന്ധിപ്പിക്കണം.
(3) പൈപ്പ് ലൈനുകളും ഉപകരണങ്ങളും തമ്മിലുള്ള കണക്ഷൻ ഉപകരണങ്ങളുടെ കണക്ഷൻ ആവശ്യകതകൾക്ക് അനുസൃതമായിരിക്കണം. ഹോസ് കണക്ഷനുകൾ ഉപയോഗിക്കുമ്പോൾ, മെറ്റൽ ഹോസുകൾ ഉപയോഗിക്കണം.
(4) പൈപ്പ് ലൈനുകളും വാൽവുകളും തമ്മിലുള്ള ബന്ധം താഴെ പറയുന്ന ചട്ടങ്ങൾ പാലിക്കണം

① ഉയർന്ന പ്യൂരിറ്റി ഗ്യാസ് പൈപ്പ്ലൈനുകളും വാൽവുകളും ബന്ധിപ്പിക്കുന്ന സീലിംഗ് മെറ്റീരിയൽ ഉൽപ്പാദന പ്രക്രിയയുടെയും വാതക സവിശേഷതകളുടെയും ആവശ്യകതകൾക്കനുസരിച്ച് മെറ്റൽ ഗാസ്കറ്റുകൾ അല്ലെങ്കിൽ ഇരട്ട ഫെറലുകൾ ഉപയോഗിക്കണം.
②ത്രെഡ് അല്ലെങ്കിൽ ഫ്ലേഞ്ച് കണക്ഷനിലെ സീലിംഗ് മെറ്റീരിയൽ പോളിടെട്രാഫ്ലൂറോഎത്തിലീൻ ആയിരിക്കണം.
3.2 സ്പെസിഫിക്കേഷനുകളുടെയും പ്രസക്തമായ സാങ്കേതിക നടപടികളുടെയും ആവശ്യകത അനുസരിച്ച്, ഉയർന്ന പ്യൂരിറ്റി ഗ്യാസ് പൈപ്പ്ലൈനുകളുടെ കണക്ഷൻ കഴിയുന്നത്ര വെൽഡിഡ് ചെയ്യണം. വെൽഡിംഗ് സമയത്ത് നേരിട്ട് ബട്ട് വെൽഡിംഗ് ഒഴിവാക്കണം. പൈപ്പ് സ്ലീവ് അല്ലെങ്കിൽ ഫിനിഷ്ഡ് സന്ധികൾ ഉപയോഗിക്കണം. പൈപ്പ് സ്ലീവ് പൈപ്പുകളുടെ അതേ മെറ്റീരിയലും ആന്തരിക ഉപരിതല സുഗമവും കൊണ്ട് നിർമ്മിക്കണം. ലെവൽ, വെൽഡിംഗ് സമയത്ത്, വെൽഡിംഗ് ഭാഗത്തിൻ്റെ ഓക്സീകരണം തടയുന്നതിന്, വെൽഡിംഗ് പൈപ്പിലേക്ക് ശുദ്ധമായ സംരക്ഷിത വാതകം അവതരിപ്പിക്കണം. സ്റ്റെയിൻലെസ്സ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകൾക്ക്, ആർഗോൺ ആർക്ക് വെൽഡിംഗ് ഉപയോഗിക്കണം, അതേ പരിശുദ്ധിയുടെ ആർഗോൺ വാതകം പൈപ്പിൽ അവതരിപ്പിക്കണം. ത്രെഡ് കണക്ഷൻ അല്ലെങ്കിൽ ത്രെഡ് കണക്ഷൻ ഉപയോഗിക്കണം. ഫ്ലേഞ്ചുകൾ ബന്ധിപ്പിക്കുമ്പോൾ, ത്രെഡ് കണക്ഷനുകൾക്കായി ഫെറലുകൾ ഉപയോഗിക്കണം. മെറ്റൽ ഗാസ്കറ്റുകൾ ഉപയോഗിക്കേണ്ട ഓക്സിജൻ പൈപ്പുകളും ഹൈഡ്രജൻ പൈപ്പുകളും ഒഴികെ, മറ്റ് പൈപ്പുകൾ പോളിടെട്രാഫ്ലൂറോഎത്തിലീൻ ഗാസ്കറ്റുകൾ ഉപയോഗിക്കണം. ഗാസ്കറ്റുകളിൽ ചെറിയ അളവിൽ സിലിക്കൺ റബ്ബർ പ്രയോഗിക്കുന്നതും ഫലപ്രദമാകും. സീലിംഗ് പ്രഭാവം വർദ്ധിപ്പിക്കുക. ഫ്ലേഞ്ച് കണക്ഷനുകൾ നടത്തുമ്പോൾ സമാനമായ നടപടികൾ കൈക്കൊള്ളണം.
ഇൻസ്റ്റാളേഷൻ ജോലികൾ ആരംഭിക്കുന്നതിന് മുമ്പ്, പൈപ്പുകളുടെ വിശദമായ വിഷ്വൽ പരിശോധന,ഫിറ്റിംഗുകൾ, വാൽവുകൾ മുതലായവ നടത്തണം. സാധാരണ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പൈപ്പുകളുടെ ആന്തരിക മതിൽ ഇൻസ്റ്റാൾ ചെയ്യുന്നതിനുമുമ്പ് അച്ചാറിടണം. ഓക്സിജൻ പൈപ്പ്ലൈനുകളുടെ പൈപ്പുകൾ, ഫിറ്റിംഗുകൾ, വാൽവുകൾ മുതലായവ എണ്ണയിൽ നിന്ന് കർശനമായി നിരോധിച്ചിരിക്കണം, കൂടാതെ ഇൻസ്റ്റാളേഷന് മുമ്പ് പ്രസക്തമായ ആവശ്യകതകൾ അനുസരിച്ച് കർശനമായി ഡീഗ്രേസ് ചെയ്യണം.
സിസ്റ്റം ഇൻസ്റ്റാൾ ചെയ്യുകയും ഉപയോഗിക്കുകയും ചെയ്യുന്നതിനുമുമ്പ്, വിതരണം ചെയ്ത ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള ഗ്യാസ് ഉപയോഗിച്ച് ട്രാൻസ്മിഷൻ, ഡിസ്ട്രിബ്യൂഷൻ പൈപ്പ്ലൈൻ സിസ്റ്റം പൂർണ്ണമായും ശുദ്ധീകരിക്കണം. ഇത് ഇൻസ്റ്റാളേഷൻ പ്രക്രിയയിൽ ആകസ്മികമായി സിസ്റ്റത്തിലേക്ക് വീഴുന്ന പൊടിപടലങ്ങളെ അകറ്റുക മാത്രമല്ല, പൈപ്പ് ഭിത്തിയും പൈപ്പ് മെറ്റീരിയലും ആഗിരണം ചെയ്യുന്ന ഈർപ്പം അടങ്ങിയ വാതകത്തിൻ്റെ ഒരു ഭാഗം നീക്കംചെയ്യുകയും പൈപ്പ്ലൈൻ സിസ്റ്റത്തിൽ ഉണക്കൽ പങ്ക് വഹിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.

4. പൈപ്പ്ലൈൻ സമ്മർദ്ദ പരിശോധനയും സ്വീകാര്യതയും
(1) സിസ്റ്റം ഇൻസ്റ്റാൾ ചെയ്ത ശേഷം, പ്രത്യേക വാതക പൈപ്പ്ലൈനുകളിൽ ഉയർന്ന വിഷ ദ്രാവകങ്ങൾ കടത്തുന്ന പൈപ്പുകളുടെ 100% റേഡിയോഗ്രാഫിക് പരിശോധന നടത്തണം, അവയുടെ ഗുണനിലവാരം ലെവൽ II-നേക്കാൾ കുറവായിരിക്കരുത്. മറ്റ് പൈപ്പുകൾ സാമ്പിൾ റേഡിയോഗ്രാഫിക് പരിശോധനയ്ക്ക് വിധേയമാണ്, കൂടാതെ സാമ്പിൾ പരിശോധന അനുപാതം 5% ൽ കുറവായിരിക്കരുത്, ഗുണനിലവാരം ഗ്രേഡ് III നേക്കാൾ കുറവായിരിക്കരുത്.
(2) നോൺ-ഡിസ്ട്രക്റ്റീവ് ഇൻസ്പെക്ഷൻ വിജയിച്ചതിന് ശേഷം, ഒരു പ്രഷർ ടെസ്റ്റ് നടത്തണം. പൈപ്പിംഗ് സിസ്റ്റത്തിൻ്റെ വരൾച്ചയും ശുചിത്വവും ഉറപ്പാക്കാൻ, ഒരു ഹൈഡ്രോളിക് പ്രഷർ ടെസ്റ്റ് നടത്തേണ്ടതില്ല, പക്ഷേ ഒരു ന്യൂമാറ്റിക് പ്രഷർ ടെസ്റ്റ് ഉപയോഗിക്കണം. വൃത്തിയുള്ള മുറിയുടെ ശുചിത്വ നിലവാരവുമായി പൊരുത്തപ്പെടുന്ന നൈട്രജൻ അല്ലെങ്കിൽ കംപ്രസ് ചെയ്ത വായു ഉപയോഗിച്ചാണ് എയർ പ്രഷർ ടെസ്റ്റ് നടത്തേണ്ടത്. പൈപ്പ്ലൈനിൻ്റെ ടെസ്റ്റ് മർദ്ദം ഡിസൈൻ മർദ്ദത്തിൻ്റെ 1.15 മടങ്ങ് ആയിരിക്കണം, കൂടാതെ വാക്വം പൈപ്പ്ലൈനിൻ്റെ ടെസ്റ്റ് മർദ്ദം 0.2MPa ആയിരിക്കണം. പരിശോധനയ്ക്കിടെ, സമ്മർദ്ദം ക്രമേണയും സാവധാനത്തിലും വർദ്ധിപ്പിക്കണം. മർദ്ദം ടെസ്റ്റ് മർദ്ദത്തിൻ്റെ 50% ആയി ഉയരുമ്പോൾ, അസാധാരണമോ ചോർച്ചയോ കണ്ടെത്തിയില്ലെങ്കിൽ, ടെസ്റ്റ് മർദ്ദത്തിൻ്റെ 10% മർദ്ദം ഘട്ടം ഘട്ടമായി വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നത് തുടരുക, കൂടാതെ ടെസ്റ്റ് മർദ്ദം വരെ ഓരോ ലെവലിലും 3 മിനിറ്റ് മർദ്ദം സ്ഥിരപ്പെടുത്തുക. . 10 മിനിറ്റ് മർദ്ദം സ്ഥിരപ്പെടുത്തുക, തുടർന്ന് ഡിസൈൻ മർദ്ദത്തിലേക്ക് സമ്മർദ്ദം കുറയ്ക്കുക. ചോർച്ച കണ്ടെത്തുന്നതിൻ്റെ ആവശ്യകതകൾക്കനുസരിച്ച് സമ്മർദ്ദം നിർത്തുന്ന സമയം നിർണ്ണയിക്കണം. ചോർച്ച ഇല്ലെങ്കിൽ, നുരയുന്ന ഏജൻ്റിന് യോഗ്യതയുണ്ട്.
(3) വാക്വം സിസ്റ്റം പ്രഷർ ടെസ്റ്റ് വിജയിച്ചതിന് ശേഷം, ഡിസൈൻ ഡോക്യുമെൻ്റുകൾ അനുസരിച്ച് 24 മണിക്കൂർ വാക്വം ഡിഗ്രി ടെസ്റ്റും നടത്തണം, കൂടാതെ പ്രഷറൈസേഷൻ നിരക്ക് 5% ൽ കൂടുതലാകരുത്.
(4) ചോർച്ച പരിശോധന. ppb, ppt ഗ്രേഡ് പൈപ്പ്‌ലൈൻ സിസ്റ്റങ്ങൾക്ക്, പ്രസക്തമായ സവിശേഷതകൾ അനുസരിച്ച്, ചോർച്ചയൊന്നും യോഗ്യതയുള്ളതായി കണക്കാക്കരുത്, എന്നാൽ ഡിസൈൻ സമയത്ത് ലീക്കേജ് അളവ് പരിശോധന ഉപയോഗിക്കുന്നു, അതായത്, എയർ ടൈറ്റ്നസ് പരിശോധനയ്ക്ക് ശേഷം ചോർച്ച അളവ് പരിശോധന നടത്തുന്നു. സമ്മർദ്ദം പ്രവർത്തന സമ്മർദ്ദമാണ്, മർദ്ദം 24 മണിക്കൂർ നിർത്തുന്നു. ശരാശരി മണിക്കൂർ ചോർച്ച യോഗ്യതയുള്ള 50ppm-ൽ കുറവോ തുല്യമോ ആണ്. ചോർച്ചയുടെ കണക്കുകൂട്ടൽ ഇപ്രകാരമാണ്:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/T
ഫോർമുലയിൽ:
ഒരു മണിക്കൂർ ചോർച്ച (%)
P1-പരീക്ഷയുടെ തുടക്കത്തിലെ സമ്പൂർണ്ണ മർദ്ദം (Pa)
P2-പരീക്ഷയുടെ അവസാനം (Pa) സമ്പൂർണ്ണ മർദ്ദം
പരിശോധനയുടെ തുടക്കത്തിൽ T1- കേവല താപനില (K)
പരിശോധനയുടെ അവസാനത്തിൽ T2-കേവല താപനില (K)