ഈർപ്പവും കണികകൾ പുറത്തുവിടലും: ഉപരിതല ഫിനിഷ് വാതക ശുദ്ധിയെ എങ്ങനെ ബാധിക്കുന്നു

ഇന്നത്തെ ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള ഗ്യാസ് സിസ്റ്റങ്ങളിൽ, ലാഭകരമായ ഒരു പ്രക്രിയയും ചെലവേറിയ പരാജയവും തമ്മിലുള്ള വ്യത്യാസം പലപ്പോഴും നിങ്ങൾക്ക് കാണാൻ കഴിയാത്തതിലേക്ക് ചുരുങ്ങുന്നു. ഈർപ്പവും കണികകളും - പാർട്‌സ് പെർ ബില്യൺ അല്ലെങ്കിൽ പാർട്‌സ് പെർ ട്രില്യൺ പോലും - ഒരു വാതക പ്രവാഹത്തെ നിശബ്ദമായി മലിനമാക്കുകയും ഉൽപ്പന്ന ഗുണനിലവാരം കുറയ്ക്കുകയും സെമികണ്ടക്ടർ ഉൽ‌പാദന ലൈനുകൾ അടച്ചുപൂട്ടുകയും ചെയ്യും. ഫിൽട്രേഷൻ, ശുദ്ധീകരണം, ഒഴുക്ക് നിയന്ത്രണ ഉപകരണങ്ങൾ എന്നിവയ്ക്ക് കൂടുതൽ ശ്രദ്ധ ലഭിക്കുമ്പോൾ, വാതക ശുദ്ധതയെ ബാധിക്കുന്ന ഏറ്റവും അടിസ്ഥാനപരമായ സ്വാധീനങ്ങളിലൊന്ന് വാതകം വഹിക്കുന്ന ട്യൂബിന്റെ ഉപരിതലമാണ്. ആ ഉപരിതലം എങ്ങനെ പൂർത്തിയാക്കുന്നു എന്നത് അതിന് എത്രത്തോളം ഈർപ്പം ആഗിരണം ചെയ്യാൻ കഴിയും, എത്ര കണികകളെ പിടിച്ചുനിർത്താൻ കഴിയും, സിസ്റ്റത്തിന്റെ ആയുസ്സിൽ അത് എത്രത്തോളം വാതകം പുറത്തുവിടും എന്നിവ നിർണ്ണയിക്കുന്നു. ഈ ഗൈഡ് ഈർപ്പം, കണികാ ഔട്ട്‌ഗ്യാസിംഗ് എന്നിവയുടെ സംവിധാനങ്ങൾ വിശദീകരിക്കുന്നു, ഉപരിതല ഫിനിഷിന്റെ വാതക ശുദ്ധതയിൽ ചെലുത്തുന്ന സ്വാധീനം കണക്കാക്കുന്നു, അൾട്രാ-ഹൈ പ്യൂരിറ്റി (UHP) പ്രകടനം നൽകാൻ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഫിനിഷിംഗ്, പ്രവർത്തന തന്ത്രങ്ങൾ രൂപരേഖ നൽകുന്നു.

എന്താണ് ഔട്ട്‌ഗ്യാസിംഗ്, എന്തുകൊണ്ട് അത് പ്രധാനമാണ്?

ഒരു വസ്തുവിന്റെ ഉപരിതലത്തിൽ ആഗിരണം ചെയ്യപ്പെടുകയോ ആഗിരണം ചെയ്യപ്പെടുകയോ ചെയ്തതോ അല്ലെങ്കിൽ അതിന്റെ ഉപരിതലത്തിനടുത്തുള്ള പാളികളിൽ ലയിച്ചുചേർന്നതോ ആയ വാതകങ്ങളുടെയും ഈർപ്പത്തിന്റെയും ക്രമാനുഗതമായ പ്രകാശനമാണ് ഔട്ട്‌ഗ്യാസിംഗ്. ചുറ്റുമുള്ള മർദ്ദം കുറയുമ്പോഴോ, താപനില ഉയരുമ്പോഴോ, അല്ലെങ്കിൽ ഒരു ശുദ്ധീകരണ വാതകം ഉപരിതലത്തിൽ വ്യാപിക്കുമ്പോഴോ ആണ് റിലീസ് ആരംഭിക്കുന്നത് - ഗ്യാസ് ഡെലിവറി സിസ്റ്റങ്ങൾ, വാക്വം ചേമ്പറുകൾ, വിശകലന ഉപകരണങ്ങൾ എന്നിവയിൽ കാണപ്പെടുന്ന അവസ്ഥകൾ പോലെ തന്നെ. സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ സിസ്റ്റങ്ങളിൽ, ഹൈഡ്രോകാർബണുകളും അവശിഷ്ട പ്രക്രിയ അവശിഷ്ടങ്ങളും ഏറ്റവും സാധാരണമായ ഔട്ട്‌ഗ്യാസിംഗ് മലിനീകരണമാണ് ജലബാഷ്പം, തുടർന്ന് ഹൈഡ്രോകാർബണുകളും അവശിഷ്ട പ്രക്രിയ അവശിഷ്ടങ്ങളും.

നിസ്സാരമെന്ന് തോന്നുന്ന സാന്ദ്രതകളിൽ പോലും, ഈർപ്പം പ്രത്യേക വാതകങ്ങൾ, ന്യൂക്ലിയേറ്റ് കണികകൾ, വിശകലന വായനകൾ വ്യാജമാക്കൽ, മാസ് ഫ്ലോ കൺട്രോളറുകൾ, വാൽവുകൾ, ഡിപ്പോസിഷൻ ചേമ്പറുകൾ തുടങ്ങിയ വിഷ-സെൻസിറ്റീവ് ഘടകങ്ങളുമായി പ്രതിപ്രവർത്തിക്കാൻ കഴിയും. ഉപകരണ ജ്യാമിതികൾ ചുരുങ്ങുകയും വിൻഡോകൾ പ്രോസസ്സ് ചെയ്യുകയും ചെയ്യുമ്പോൾ, സെമികണ്ടക്ടർ വ്യവസായം വാതക പരിശുദ്ധി ആവശ്യകതകൾ പാർട്സ് പെർ മില്യൺ (പിപിഎം) മുതൽ പാർട്സ് പെർ ബില്യൺ (പിപിബി) വരെയും പാർട്സ് പെർ ട്രില്യൺ (പിപിടി) വരെയും ഉയർത്തി. ഈ തലങ്ങളിൽ, ട്യൂബിംഗിന്റെ ഉപരിതല ഫിനിഷ് ഇനി ഒരു ചെറിയ വിശദാംശമല്ല - ഇത് ഒരു പ്രാഥമിക സ്പെസിഫിക്കേഷനാണ്, അത് മില്ലിൽ നിന്ന് ഉപകരണം വരെ എഞ്ചിനീയറിംഗ് ചെയ്യുകയും പരിശോധിക്കുകയും പരിപാലിക്കുകയും വേണം.

കോർ മെക്കാനിസങ്ങൾ

യഥാർത്ഥ ഉപരിതല വിസ്തീർണ്ണം വർദ്ധിപ്പിച്ചു

ഒരു പരുക്കൻ പ്രതലത്തിന് മിനുസമാർന്നതിനേക്കാൾ വളരെ വലിയ സൂക്ഷ്മ വിസ്തീർണ്ണമുണ്ട്, കൂടുതൽ വിസ്തീർണ്ണം എന്നാൽ ഈർപ്പം ബന്ധിപ്പിക്കാൻ കഴിയുന്ന കൂടുതൽ സ്ഥലങ്ങൾ എന്നാണ് അർത്ഥമാക്കുന്നത്. ബന്ധം രേഖീയമല്ല: കൊടുമുടികൾ, താഴ്‌വരകൾ, ധാന്യ-അതിർത്തി ഘട്ടങ്ങൾ എന്നിവയുടെ രൂപത്തിലുള്ള പരുക്കൻത, ആഗിരണം ചെയ്യാൻ ലഭ്യമായ ഫലപ്രദമായ ഉപരിതല വിസ്തീർണ്ണത്തെ ഗുണിക്കുന്നു. ഉപരിതല പരുക്കൻത - Ra ആയി അളക്കുന്നു, ഉപരിതല പ്രൊഫൈലിന്റെ ഗണിത ശരാശരി വ്യതിയാനം - 0.8 µm മുതൽ 0.25 µm വരെ കുറയ്ക്കുന്നത് ആഗിരണം സൈറ്റുകളുടെ ഒരു വലിയ പങ്ക് ഇല്ലാതാക്കും, കാരണം ജലത്തെ ഏറ്റവും കഠിനമായി നിലനിർത്തുന്ന ആഴമേറിയ വിള്ളലുകൾ പൂർണ്ണമായും നീക്കം ചെയ്യപ്പെടുന്നു. അതുകൊണ്ടാണ് ഉപരിതല ഫിനിഷിനെ പലപ്പോഴും ഈർപ്പം മറഞ്ഞിരിക്കുന്ന ഒരു റിസർവോയർ എന്ന് വിശേഷിപ്പിക്കുന്നത്, ഒരു സിസ്റ്റം അടിസ്ഥാന ശുദ്ധതയിലെത്തുന്നതിന് മുമ്പ് അത് എത്ര സമയം ശുദ്ധീകരിക്കണമെന്ന് അത് നിർണ്ണയിക്കുന്നു.

ഈർപ്പം ആഗിരണം ചെയ്യലും വാതകങ്ങൾ നീക്കം ചെയ്യലും

ലോഹ പ്രതലങ്ങളുമായി, പ്രത്യേകിച്ച് സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീലിൽ സ്വാഭാവികമായി വികസിക്കുന്ന ഓക്സൈഡ് പാളികളുമായി, ഈർപ്പം സ്ഥിരതയുള്ള ബോണ്ടുകൾ ഉണ്ടാക്കുന്നു. ഒരു നിഷ്ക്രിയ, ക്രോമിയം സമ്പുഷ്ടമായ പ്രതലത്തിൽ, ജല തന്മാത്രകൾ ആദ്യം ഓക്സൈഡിലേക്ക് നേരിട്ട് കെമിസോർബ് ചെയ്യുന്നു, തുടർന്ന് തുടർച്ചയായി ഫിസിസോർബ്ഡ് പാളികളായി വളരുന്നു. ട്യൂബ് പിന്നീട് വാക്വം അല്ലെങ്കിൽ ഒഴുകുന്ന വാതകത്തിന് വിധേയമാകുമ്പോൾ, ഈ പാളികൾ ക്രമേണ വിഘടിക്കുന്നു: അയഞ്ഞ രീതിയിൽ ബന്ധിപ്പിച്ചിരിക്കുന്ന പുറം പാളികൾ ആദ്യം പുറത്തുവിടുന്നു, അതേസമയം കെമിസോർബ്ഡ് വെള്ളം നിലനിൽക്കുകയും ഊർജ്ജം, സാധാരണയായി താപത്തിന്റെ രൂപത്തിൽ, പുറത്തുവിടാൻ ആവശ്യമാണ്. പ്രായോഗിക പരിണതഫലമായി, പുതുതായി ഇൻസ്റ്റാൾ ചെയ്തതോ മോശമായി പൂർത്തിയാക്കിയതോ ആയ ട്യൂബ് മണിക്കൂറുകളോ ദിവസങ്ങളോ പോലും വാതക പ്രവാഹത്തിലേക്ക് ഈർപ്പം ചോർത്തുകയും ശുദ്ധീകരണം സ്പെസിഫിക്കേഷന് താഴെയായി നിലനിർത്തുകയും ചെയ്യും.

കണികാ എൻട്രാപ്പ്മെന്റ്

പരുക്കൻ പ്രതലങ്ങളിലെ സൂക്ഷ്മതല വിള്ളലുകൾ, കുഴികൾ, ലാപ്പുകൾ എന്നിവ കണികകൾക്കുള്ള സംഭരണികളായി പ്രവർത്തിക്കുന്നു. സാധാരണ പ്രവർത്തന സമയത്ത് ഈ കണികകൾ കുടുങ്ങിക്കിടക്കാം, പക്ഷേ താപ സൈക്ലിംഗ്, വൈബ്രേഷൻ അല്ലെങ്കിൽ പ്രവാഹ ദിശയിലും വേഗതയിലുമുള്ള പെട്ടെന്നുള്ള മാറ്റങ്ങൾ അവയെ നീക്കം ചെയ്യുകയും വാതക പ്രവാഹത്തിലേക്ക് മലിനീകരണത്തിന്റെ പൊട്ടിത്തെറികൾ അയയ്ക്കുകയും ചെയ്യും. സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിൽ, ഒരു ഒറ്റ കണികയ്ക്ക് ഒരു വേഫറിൽ ഒരു മാരകമായ വൈകല്യം സൃഷ്ടിക്കാൻ കഴിയും, കൂടാതെ സിസ്റ്റം സേവനത്തിൽ ആയിരിക്കുമ്പോൾ നിർജ്ജീവമായ കാലുകളിലോ വാൽവ് അറകളിലോ അടിഞ്ഞുകൂടുന്ന കണികകളെ നീക്കം ചെയ്യുന്നത് കുപ്രസിദ്ധമായി ബുദ്ധിമുട്ടാണ്. മിനുസമാർന്നതും വിള്ളലുകളില്ലാത്തതുമായ പ്രതലങ്ങൾ സൃഷ്ടിക്കപ്പെടുന്ന കണങ്ങളുടെ എണ്ണം കുറയ്ക്കുക മാത്രമല്ല, അവ നിലനിൽക്കുന്ന പ്രതലങ്ങൾ വൃത്തിയാക്കാനും പരിശോധിക്കാനും വളരെ എളുപ്പമാക്കുന്നു.

വാതക ശുദ്ധതയിലുള്ള ആഘാതം

ഉപരിതല ഫിനിഷിന്റെ തിരഞ്ഞെടുപ്പ് വാതക പരിശുദ്ധി, ശുദ്ധീകരണ സമയം, ദീർഘകാല സ്ഥിരത എന്നിവയിൽ നേരിട്ടുള്ളതും അളക്കാവുന്നതുമായ സ്വാധീനം ചെലുത്തുന്നു. Ra 0.5–0.8 µm ശ്രേണിയിലുള്ള പരുക്കൻ പ്രതലങ്ങൾ - ശുദ്ധീകരിക്കാത്ത കോൾഡ്-ഡ്രോൺ ട്യൂബിന്റെ സാധാരണ - കൂടുതൽ ഈർപ്പവും കണികകളും നിലനിർത്തുന്നു. അവ കൂടുതൽ ആക്രമണാത്മകമായി വാതകം പുറത്തുവിടുന്നു, കൂടുതൽ ശുദ്ധീകരണ സമയം ആവശ്യമാണ്, കൂടാതെ ഇടയ്ക്കിടെ മലിനീകരണം സ്വീകാര്യമാകുന്ന ppm-ലെവൽ ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക് മാത്രമേ സാധാരണയായി അനുയോജ്യമാകൂ. സാധാരണയായി ഇലക്ട്രോപോളിഷിംഗ് (EP) വഴി ഉൽപ്പാദിപ്പിക്കപ്പെടുന്ന Ra ≤ 0.25 µm ശ്രേണിയിലെ മിനുസമാർന്ന പ്രതലങ്ങൾ വളരെ വ്യത്യസ്തമായി പെരുമാറുന്നു: അവ കുറച്ച് അഡ്‌സോർപ്ഷൻ സൈറ്റുകൾ, കുറഞ്ഞ വാതക വിതരണം, വളരെ കുറഞ്ഞ കണിക ഉത്പാദനം എന്നിവ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു. പ്രസിദ്ധീകരിച്ച പഠനങ്ങളിൽ പ്രഭാവം കണക്കാക്കിയിട്ടുണ്ട്; ടൈറ്റാനിയത്തെക്കുറിച്ചുള്ള ഒരു അന്വേഷണത്തിൽ ഉപരിതല പരുക്കനിൽ 35% കുറവ് വാതകം നീക്കം ചെയ്ത വെള്ളത്തിൽ 30% കുറവ് വരുത്തിയതായി കാണിച്ചു, കൂടാതെ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീലിനായി താരതമ്യപ്പെടുത്താവുന്ന പ്രവണതകൾ രേഖപ്പെടുത്തിയിട്ടുണ്ട്. ppb-, ppt-ലെവൽ അൾട്രാ-ഹൈ പ്യൂരിറ്റി സിസ്റ്റങ്ങൾക്ക്, ഇലക്ട്രോപോളിഷ് ചെയ്ത പ്രതലങ്ങൾ ഒരു ആഡംബരമല്ല - അവ ഒരു ആവശ്യകതയാണ്.

സർഫസ് ഫിനിഷ് സിസ്റ്റം പ്രകടനത്തെ എങ്ങനെ ബാധിക്കുന്നു

ഉപരിതല ഫിനിഷിംഗ് വാതകം നീക്കം ചെയ്യുന്നതിനേക്കാൾ വളരെയധികം സ്വാധീനം ചെലുത്തുന്നു. ഇത് ശുദ്ധീകരണ സമയത്തെ ബാധിക്കുന്നു (മിനുസമാർന്ന പ്രതലങ്ങൾ അടിസ്ഥാന ഈർപ്പം വേഗത്തിൽ എത്തുന്നു), ഒഴുക്കിനടിയിൽ കണികകൾ ചൊരിയൽ, നാശന പ്രതിരോധം (നിഷ്ക്രിയമായ, ക്രോമിയം സമ്പുഷ്ടമാക്കിയ EP പ്രതലങ്ങൾ പുനഃസമാഗമത്തെ പ്രതിരോധിക്കുന്നു), വൃത്തിയാക്കൽ (മിനുസമാർന്ന പ്രതലങ്ങൾ ക്ലീനിംഗ് ഏജന്റുകളെ പുറത്തുവിടുകയും വെള്ളം പൂർണ്ണമായും കഴുകുകയും ചെയ്യുന്നു). ഇത് വെൽഡബിലിറ്റിയെയും ബാധിക്കുന്നു: വൃത്തിയുള്ളതും നിയന്ത്രിതവുമായ ഉപരിതല ഫിനിഷ് കൂടുതൽ സ്ഥിരതയുള്ള ഓർബിറ്റൽ വെൽഡ് ഗുണനിലവാരം സൃഷ്ടിക്കുന്നു, ഇത് ഭാവിയിലെ മലിനീകരണ സ്രോതസ്സുകളായി മാറാൻ സാധ്യതയുള്ള ഉൾപ്പെടുത്തലുകളുടെയും താപ-ചില്ലറ നിറവ്യത്യാസത്തിന്റെയും അപകടസാധ്യത കുറയ്ക്കുന്നു.

ലഘൂകരണ തന്ത്രങ്ങൾ

ഉയർന്ന വാതക ശുദ്ധത കൈവരിക്കുന്നതിനും നിലനിർത്തുന്നതിനും സമീപനങ്ങളുടെ സംയോജനം ആവശ്യമാണ്, ഓരോന്നും മലിനീകരണത്തിന്റെ വ്യത്യസ്ത വഴികളെ അഭിസംബോധന ചെയ്യുന്നു.

ഉപരിതല ചികിത്സ

ഇലക്ട്രോപോളിഷിംഗ് (EP) ആണ് UHP സിസ്റ്റങ്ങൾക്കുള്ള സുവർണ്ണ നിലവാരം. ഈ പ്രക്രിയ ഉപരിതലത്തിൽ നിന്ന് നേർത്തതും നിയന്ത്രിതവുമായ ലോഹ പാളി നീക്കം ചെയ്യുന്നു, മൈക്രോ-പീക്കുകൾ നിരപ്പാക്കുന്നു, വിള്ളലുകൾ തുറക്കുകയും ഇല്ലാതാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു, കൂടാതെ പാസീവ് ഫിലിമിന്റെ ക്രോമിയം ഉള്ളടക്കം സമ്പുഷ്ടമാക്കുന്നു - ഇത് ഉപരിതലത്തെ കൂടുതൽ നാശത്തെ പ്രതിരോധിക്കുന്നതും ഈർപ്പം വളരെ കുറച്ച് നിലനിർത്തുന്നതുമാക്കുന്നു. ഒരു UHP ഗ്യാസ് ട്രെയിൻ വ്യക്തമാക്കുമ്പോൾ, തിരഞ്ഞെടുക്കുകഇലക്ട്രോപോളിഷ് ചെയ്ത സീംലെസ് ട്യൂബ്നനഞ്ഞ ഘടകങ്ങൾക്കും ഒരേ ഫിനിഷിലേക്ക് മാച്ച് ഫിറ്റിംഗുകൾക്കും; ഒരു സിസ്റ്റത്തിനുള്ളിൽ ഫിനിഷുകൾ മിക്സ് ചെയ്യുന്നത് മുഴുവൻ അസംബ്ലിയുടെയും ശുചിത്വത്തെ ദുർബലപ്പെടുത്തുന്നു. കുറഞ്ഞ ആവശ്യങ്ങൾ ഉള്ള ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക്, ആസിഡ് പിക്കിങ്ങും പാസിവേഷനും (AP) ബ്രൈറ്റ് അനീലിംഗും (BA) വൃത്തിയുടെയും ചെലവിന്റെയും നല്ല സന്തുലിതാവസ്ഥ നൽകുന്നു.

വൃത്തിയാക്കലും കൈകാര്യം ചെയ്യലും

ഉപരിതല ഫിനിഷിംഗ് മാത്രം പോരാ - കർശനമായ വൃത്തിയാക്കൽ മുൻ പ്രോസസ്സിംഗ് ഘട്ടങ്ങളിൽ നിന്ന് അവശേഷിച്ച നിർമ്മാണ അവശിഷ്ടങ്ങൾ, എണ്ണകൾ, ഈർപ്പം എന്നിവ നീക്കം ചെയ്യുന്നു. സാധാരണ പ്രോട്ടോക്കോളുകൾ ആൽക്കലൈൻ ഡീഗ്രേസിംഗ്, അൾട്രാസോണിക് ക്ലീനിംഗ്, ഡീയോണൈസ്ഡ് വാട്ടർ റിൻസിംഗ് എന്നിവ സംയോജിപ്പിക്കുന്നു, തുടർന്ന് വൃത്തിയുള്ള അന്തരീക്ഷത്തിൽ ഉണക്കി സീൽ ചെയ്ത, ഡബിൾ-ബാഗഡ് സംരക്ഷണത്തിൽ പാക്കേജിംഗ് ചെയ്യുന്നു. കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നതിലും അച്ചടക്കം പ്രധാനമാണ്: കയ്യുറകൾ, വൃത്തിയുള്ള ഉപകരണങ്ങൾ, മൂടിയ സംഭരണം എന്നിവ മില്ലിനും അന്തിമ ഇൻസ്റ്റാളേഷനും ഇടയിൽ വീണ്ടും മലിനീകരണം തടയുന്നു.

ബേക്ക്-ഔട്ട്

വാക്വം അല്ലെങ്കിൽ ഒഴുകുന്ന ശുദ്ധീകരണ വാതകത്തിന് കീഴിൽ ഘടകങ്ങൾ ചൂടാക്കുന്നത് ജലബാഷ്പത്തിന്റെ ആഗിരണം ത്വരിതപ്പെടുത്തുന്നു, പ്രവർത്തന സമയത്ത് പ്രക്രിയ പ്രവാഹത്തിലേക്ക് വാതകം പുറത്തേക്ക് പോകുന്ന ഈർപ്പം നീക്കംചെയ്യുന്നു. വാൽവുകൾ, ഫിറ്റിംഗുകൾ, വെൽഡഡ് സന്ധികൾ എന്നിവയ്ക്ക് ബേക്ക്-ഔട്ട് പ്രത്യേകിച്ചും പ്രധാനമാണ്, അവിടെ ജ്യാമിതിയും താപ-ബാധിത മേഖലകളും മറഞ്ഞിരിക്കുന്ന ഈർപ്പം സംഭരണികൾ സൃഷ്ടിക്കുന്നു. ഒരു നിഷ്ക്രിയ ശുദ്ധീകരണവുമായി സംയോജിപ്പിച്ച്, ബേക്ക്-ഔട്ട് ഒരു പുതിയ സിസ്റ്റത്തിന് അടിസ്ഥാന ശുദ്ധതയിലെത്താൻ ആവശ്യമായ സമയം ദിവസങ്ങളിൽ നിന്ന് മണിക്കൂറുകളായി കുറയ്ക്കാൻ കഴിയും.

ശുദ്ധീകരണം

ഒരു നിഷ്ക്രിയ വാതകം, സാധാരണയായി നൈട്രജൻ അല്ലെങ്കിൽ ആർഗോൺ, സിസ്റ്റത്തിലൂടെ ഒഴുകുന്നത് വാതകം നീക്കം ചെയ്ത മാലിന്യങ്ങളെ നീക്കം ചെയ്യുകയും ഈർപ്പം വീണ്ടും ആഗിരണം ചെയ്യുന്നത് തടയുകയും ചെയ്യുന്നു. ശുദ്ധീകരണം ഒരു കമ്മീഷൻ ചെയ്യൽ ഘട്ടവും തുടർച്ചയായ ഒരു രീതിയുമാണ്: നന്നായി രൂപകൽപ്പന ചെയ്ത സിസ്റ്റങ്ങൾ സ്റ്റാൻഡ്‌ബൈ വിഭാഗങ്ങളിൽ തുടർച്ചയായ കുറഞ്ഞ പ്രവാഹ ശുദ്ധീകരണം നിലനിർത്തുകയും ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള ശുദ്ധീകരണ വാതകം ഉപയോഗിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു, അങ്ങനെ ശുദ്ധീകരണം തന്നെ ഒരു മലിനീകരണ സ്രോതസ്സായി മാറുന്നില്ല.

മെറ്റീരിയൽ തിരഞ്ഞെടുക്കൽ

കുറഞ്ഞ വാതകം നീക്കം ചെയ്യുന്ന വസ്തുക്കൾ ഉപയോഗിക്കുന്നത് ആന്തരിക മലിനീകരണ സ്രോതസ്സുകൾ ഉണ്ടാകുന്നതിനു മുമ്പുതന്നെ കുറയ്ക്കുന്നു. UHP സേവനത്തിന്, VIM-VAR (വാക്വം ഇൻഡക്ഷൻ മെൽറ്റിംഗ്, തുടർന്ന് വാക്വം ആർക്ക് റീമെൽറ്റിംഗ്) നിർമ്മിക്കുന്ന 316L സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ വ്യവസായ നിലവാരമാണ്: ഇരട്ട വാക്വം മെൽറ്റിംഗ് ലോഹേതര ഉൾപ്പെടുത്തലുകൾ കുറയ്ക്കുകയും വൃത്തിയായി പൂർത്തിയാക്കാൻ എളുപ്പമുള്ളതും വാതകം നീക്കം ചെയ്യാനുള്ള സാധ്യത കുറവുള്ളതുമായ ഒരു സാന്ദ്രമായ, ഏകതാനമായ മൈക്രോസ്ട്രക്ചർ ഉത്പാദിപ്പിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. ഉൾപ്പെടുത്തലുകളുള്ള താഴ്ന്ന ഗ്രേഡ് മെറ്റീരിയൽ മികച്ച ഉപരിതല ഫിനിഷിനെ പോലും പരാജയപ്പെടുത്തും, കാരണം ഉൾപ്പെടുത്തലുകൾ കുഴിക്കുന്നതിനും കണികകൾ സൃഷ്ടിക്കുന്നതിനുമുള്ള ആരംഭ സ്ഥലങ്ങളായി പ്രവർത്തിക്കുന്നു.

നിങ്ങളുടെ ആപ്ലിക്കേഷന് അനുയോജ്യമായ ഉപരിതല ഫിനിഷ് തിരഞ്ഞെടുക്കുന്നു

വ്യത്യസ്ത വ്യവസായങ്ങൾക്കും പ്രക്രിയകൾക്കും വ്യത്യസ്ത പരിശുദ്ധി ആവശ്യകതകളുണ്ട്, കൂടാതെ ശരിയായ ഫിനിഷ് വിലയ്ക്കും ലഭ്യതയ്ക്കും എതിരായി ശുചിത്വത്തെ സന്തുലിതമാക്കുന്നു. പിപിബി-ലെവൽ പരിശുദ്ധി മതിയായ ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക് - ഉദാഹരണത്തിന്, ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി പ്രക്രിയ ലൈനുകളും ഫാർമസ്യൂട്ടിക്കൽ യൂട്ടിലിറ്റികളും - aബ്രൈറ്റ് അനീൽഡ് (BA) സീംലെസ് ട്യൂബ്ഉപരിതല ഗുണനിലവാരം, ഡൈമൻഷണൽ നിയന്ത്രണം, ചെലവ് എന്നിവയുടെ മികച്ച സന്തുലിതാവസ്ഥ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു. ഏറ്റവും ആവശ്യപ്പെടുന്ന സേവനത്തിനായി, ഇലക്ട്രോപോളിഷ് ചെയ്ത മെറ്റീരിയൽ വിട്ടുവീഴ്ചയില്ലാതെ വ്യക്തമാക്കിയിരിക്കുന്നു.

• സെമികണ്ടക്ടർ, ഫ്ലാറ്റ്-പാനൽ നിർമ്മാണം: EP ഫിനിഷ്, Ra ≤ 0.25 µm, 316L VIM-VAR, ഡബിൾ-ബാഗഡ്, ബാച്ച്-സർട്ടിഫൈഡ്. ഔട്ട്‌ഗ്യാസിംഗ്, കണികാ ബജറ്റുകൾ ppb–ppt-ൽ നിർവചിച്ചിരിക്കുന്നു, കൂടാതെ ഉപരിതല, കണികാ-കൗണ്ട് സ്പെസിഫിക്കേഷനുകൾ ഉപയോഗിച്ച് നടപ്പിലാക്കുന്നു.
• സ്പെഷ്യാലിറ്റി, ഇലക്ട്രോണിക് വാതകങ്ങൾ: നിയന്ത്രിത ആന്തരിക ഫിനിഷുള്ള ഇപി അല്ലെങ്കിൽ ഉയർന്ന ഗ്രേഡ് ബിഎ ട്യൂബിംഗ്; ഗ്യാസ് കാബിനറ്റുകളും വിതരണ പാനലുകളും എല്ലാ ഘടകങ്ങളിൽ നിന്നും സ്ഥിരമായ ഗുണനിലവാരം ആവശ്യപ്പെടുന്നു.
• ഫാർമസ്യൂട്ടിക്കൽ, ബയോടെക്: വൃത്തിയാക്കാനും സാധൂകരിക്കാനും എളുപ്പമുള്ള EP അല്ലെങ്കിൽ BA പ്രതലങ്ങൾ, ASME BPE സർഫേസ്-ഫിനിഷ് മാർഗ്ഗനിർദ്ദേശങ്ങൾ പാലിക്കുന്നതും CIP/SIP സൈക്കിളുകളെ പിന്തുണയ്ക്കുന്നതും.
• വിശകലന ഉപകരണങ്ങളും ഗ്യാസ് ക്രോമാറ്റോഗ്രാഫിയും:ഇൻസ്ട്രുമെന്റേഷൻ ട്യൂബ്സിഗ്നൽ സ്ഥിരത ആവർത്തിക്കാവുന്നതും മലിനീകരണ രഹിതവുമായ കാരിയർ വാതകത്തെ ആശ്രയിച്ചിരിക്കുന്നതിനാൽ, നിയന്ത്രിത അകത്തെ വ്യാസമുള്ള ഫിനിഷും കൃത്യമായ ഡൈമൻഷണൽ ടോളറൻസുകളും ഉണ്ട്.
• പൊതുവായ പ്രക്രിയയും വ്യാവസായിക പൈപ്പിംഗും: AP അല്ലെങ്കിൽ BA ഫിനിഷുകൾ കുറഞ്ഞ ചെലവിൽ ppm-ലെവൽ സേവനത്തിന് മതിയായ ശുചിത്വം നൽകുന്നു.

വ്യവസായ മാനദണ്ഡങ്ങളും സവിശേഷതകളും

ഉപരിതല ഫിനിഷ് കൃത്യമായി വ്യക്തമാക്കുന്നതിന് ഒരു പൊതു ഭാഷ ആവശ്യമാണ്. Ra (ഗണിത ശരാശരി റഫ്‌നെസ്) ആണ് ഏറ്റവും വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്ന പാരാമീറ്റർ, എന്നാൽ നിർണായക ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ Rz, Rmax, പീക്ക് കൗണ്ട് എന്നിവയും SEMI F19 പോലുള്ള ഉപരിതല-റഫ്‌നെസ് അളക്കൽ മാനദണ്ഡങ്ങളും പരാമർശിക്കുന്നു. സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ ട്യൂബിംഗിനായി, സീംലെസ്, സാനിറ്ററി ട്യൂബുകൾക്കുള്ള ASTM A269, A270, ബയോപ്രോസസിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾക്കുള്ള ASME BPE, സെമികണ്ടക്ടർ ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്കുള്ള SEMI മാനദണ്ഡങ്ങൾ എന്നിവ സാധാരണ റഫറൻസുകളിൽ ഉൾപ്പെടുന്നു. ഒരു സ്പെസിഫിക്കേഷന് EP ഗുണനിലവാരം ആവശ്യപ്പെടുമ്പോൾ, അത് Ra മൂല്യം, അളക്കൽ രീതി, സ്വീകാര്യത മാനദണ്ഡം എന്നിവ പ്രസ്താവിക്കണം - ഉദാഹരണത്തിന്, "Ra ≤ 0.25 µm, ആന്തരിക ഉപരിതലത്തിൽ സ്റ്റൈലസ് പ്രൊഫൈലോമെട്രി ഉപയോഗിച്ച് അളക്കുന്നു, 100% പരിശോധിച്ച് സാക്ഷ്യപ്പെടുത്തി."

പതിവ് ചോദ്യങ്ങൾ

ചോദ്യം: UHP ഗ്രേഡായി കണക്കാക്കുന്ന Ra മൂല്യം എന്താണ്?

A: അൾട്രാ-ഹൈ പ്യൂരിറ്റി സിസ്റ്റങ്ങൾ സാധാരണയായി Ra ≤ 0.25 µm വ്യക്തമാക്കുന്നു, കൂടാതെ പല സെമികണ്ടക്ടർ ഫാബുകൾക്കും ഇലക്ട്രോപോളിഷ് ചെയ്ത പ്രതലങ്ങളിൽ Ra ≤ 0.13 µm ആവശ്യമാണ്. കൃത്യമായ ആവശ്യകത പ്രക്രിയയെയും വിതരണം ചെയ്യുന്ന പ്യൂരിറ്റി ക്ലാസിനെയും ആശ്രയിച്ചിരിക്കുന്നു.

ചോദ്യം: ഇലക്ട്രോപോളിഷിംഗ് കണികകളെ നീക്കം ചെയ്യുമോ?

A: ഇലക്ട്രോപോളിഷിംഗ് ലോഹത്തിന്റെ ഒരു നിയന്ത്രിത പാളി നീക്കം ചെയ്യുന്നു, ഇത് കണികകളും ഈർപ്പവും ഒളിഞ്ഞിരിക്കുന്ന സൂക്ഷ്മ കൊടുമുടികൾ, ലാപ്പുകൾ, വിള്ളലുകൾ എന്നിവ ഇല്ലാതാക്കുന്നു. ഇത് വൃത്തിയാക്കലിന് പകരമാവില്ല: ശരിയായി ഇലക്ട്രോപോളിഷ് ചെയ്ത ഭാഗം ഇപ്പോഴും വൃത്തിയാക്കുകയും കഴുകുകയും വൃത്തിയുള്ള മുറി സാഹചര്യങ്ങളിൽ പാക്ക് ചെയ്യുകയും വേണം.

ചോദ്യം: ഉപരിതല ഫിനിഷിംഗ് ശുദ്ധീകരണ സമയത്തെ എങ്ങനെ ബാധിക്കുന്നു?

A: പരുക്കൻ പ്രതലങ്ങൾ കൂടുതൽ ഈർപ്പം നിലനിർത്തുകയും സാവധാനത്തിൽ പുറത്തുവിടുകയും ചെയ്യുന്നതിനാൽ അടിസ്ഥാന ശുദ്ധി കൈവരിക്കാൻ കൂടുതൽ സമയമെടുക്കും. മിനുസമാർന്ന ഇലക്ട്രോപോളിഷ് ചെയ്ത പ്രതലങ്ങൾക്ക് ശുദ്ധീകരണ സമയം മണിക്കൂറുകളോ ദിവസങ്ങളോ കുറയ്ക്കാൻ കഴിയും, ഇത് നേരിട്ട് വേഗത്തിലുള്ള സ്റ്റാർട്ടപ്പുകളിലേക്കും കുറഞ്ഞ പ്രവർത്തനരഹിതമായ സമയത്തിലേക്കും നയിക്കുന്നു.

ചോദ്യം: ഗ്യാസ് സിസ്റ്റങ്ങൾക്ക് ബ്രൈറ്റ് അനീൽഡ് (BA) ട്യൂബ് മതിയോ?

A: ഏകദേശം 0.25–0.4 µm Ra ഉള്ള BA ട്യൂബ് നിരവധി ഉയർന്ന ശുദ്ധതയ്ക്കും ഫാർമസ്യൂട്ടിക്കൽ ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്കും അനുയോജ്യമാണ്. ppb–ppt സെമികണ്ടക്ടർ, സ്പെഷ്യാലിറ്റി-ഗ്യാസ് സർവീസ് എന്നിവയ്ക്ക്, സാധാരണയായി ഇലക്ട്രോപോളിഷിംഗ് ആവശ്യമാണ്.

ചോദ്യം: അൾട്രാ-ഹൈ പ്യൂരിറ്റി ഗ്യാസ് സിസ്റ്റങ്ങൾക്ക് ഏറ്റവും അനുയോജ്യമായ മെറ്റീരിയൽ ഏതാണ്?

A: കുറഞ്ഞ ഇൻക്ലൂഷൻ ഉള്ളടക്കവും സ്ഥിരതയുള്ളതും വൃത്തിയുള്ളതുമായ മൈക്രോസ്ട്രക്ചർ കാരണം UHP ഗ്യാസ് സിസ്റ്റങ്ങൾക്ക് VIM-VAR മെൽറ്റിംഗ് വഴി നിർമ്മിക്കുന്ന 316L സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ സ്റ്റാൻഡേർഡ് ചോയിസാണ്.

തീരുമാനം

സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ ട്യൂബുകളുടെ ഒരു സൗന്ദര്യവർദ്ധക ഗുണമല്ല സർഫസ് ഫിനിഷ് - ഒരു ഗ്യാസ് സിസ്റ്റത്തിന്റെ ജീവിതത്തിലുടനീളം ഈർപ്പം ആഗിരണം, കണിക നിലനിർത്തൽ, ഔട്ട്ഗ്യാസ്സിംഗ് എന്നിവ നിയന്ത്രിക്കുന്ന ഒരു ഫങ്ഷണൽ സ്പെസിഫിക്കേഷനാണിത്. ഉയർന്ന അളവിലുള്ള വാതക പരിശുദ്ധി കൈവരിക്കുന്നതിനും നിലനിർത്തുന്നതിനും സുഗമമായ ഒരു ഉപരിതല ഫിനിഷ് ഒരു മുൻവ്യവസ്ഥയാണ്. ശരിയായ ഫിനിഷ് വ്യക്തമാക്കുന്നതിലൂടെ - UHP സേവനത്തിനായി ഇലക്ട്രോപോളിഷ് ചെയ്‌തത്, കുറഞ്ഞ ആവശ്യകതയുള്ള ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക് തിളക്കമുള്ള അനീൽ ചെയ്‌തതോ അച്ചാറിട്ടതോ പാസിവേറ്റഡ് ചെയ്‌തതോ - 316L VIM-VAR സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പോലുള്ള കുറഞ്ഞ ആവശ്യകതയുള്ള വാതക വിതരണ വസ്തുക്കളുമായി സംയോജിപ്പിച്ച്, കർശനമായ ക്ലീനിംഗ്, ബേക്ക്-ഔട്ട്, ശുദ്ധീകരണ രീതികൾ എന്നിവ ഉപയോഗിച്ച് അതിനെ പിന്തുണയ്ക്കുന്നതിലൂടെ, എഞ്ചിനീയർമാർക്ക് ഏറ്റവും ആവശ്യപ്പെടുന്ന ശുദ്ധതാ ലക്ഷ്യങ്ങൾ വിശ്വസനീയമായി നിറവേറ്റുന്ന ഗ്യാസ് ഡെലിവറി സംവിധാനങ്ങൾ നിർമ്മിക്കാനും പ്ലാന്റിന്റെ ആയുസ്സ് മുഴുവൻ അവ അവിടെ നിലനിർത്താനും കഴിയും.